[发明专利]一种升降式光刻机及其加工方法有效

专利信息
申请号: 202211321857.4 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115390373B 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 王华;陈志特;甘泉 申请(专利权)人: 广东科视光学技术股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 代理人: 王晓艳
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 升降 光刻 及其 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种升降式光刻机,其特征在于,包括基架(2);基架(2)的两侧分别设置有上料传送带(1)和下料传送带(3),基架(2)的内部设置有中间传送带(7),基架(2)的顶部设置有桁架(4),桁架(4)上设置有光学机构(5);

在中间传送带(7)处设置有升降台机构,该升降台机构包括升降工作台(8)、第一矫正机构(9)、第二矫正机构(10),升降工作台(8)沿着中间传送带(7)升降运动;

升降工作台(8)包括工件台(81),工件台(81)位于两个中间传送带(7)之间,工件台(81)的中部与升降气缸(82)的输出端连接;工件台(81)的两侧分别通过U型杆与扩张板(84)连接;

U型杆包括导向杆(85)、第一连接杆(86),导向杆(85)的顶部与工件台(81)的底面连接,导向杆(85)的底部与第一连接杆(86)的水平部的端部连接,第一连接杆(86)的竖直部的端部与扩张板(84)连接;

导向杆(85)为竖直杆,第一连接杆(86)为L形杆;

光学机构(5)包括光刻镜头,基架(2)为矩形框架结构,基架(2)包括底座(6)、矩形架(21)和连接架(22),底座(6)的两侧分别设置有矩形架(21),上料传送带(1)和下料传送带(3)贯穿矩形架(21)的矩形槽;两个矩形架(21)之间设置有连接架(22),桁架(4)位于连接架(22)上;

扩张板(84)靠近升降工作台(8)的侧壁上设置有定位板(89),定位板(89)的水平高度高于工件台(81)的水平高度;

在升降工作台(8)的两侧设置有第一矫正机构(9);

第一矫正机构(9)包括固定座(92)、矫正柱(93)和连接轴(94),固定座(92)内贯穿设置有连接轴(94),连接轴(94)的一端通过齿轮连接件与扩张板(84)连接,连接轴(94)的另一端与矫正柱(93)垂直连接;

连接轴(94)与扩张板(84)呈平行状态设置;

齿轮连接件包括第二连接杆(87),第二连接杆(87)垂直安装在扩张板(84)上,第二连接杆(87)远离扩张板(84)的端部上竖直设置有齿条(88),齿条(88)与齿轮(91)啮合连接,齿轮(91)安装在连接轴(94)的一端上。

2.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机,其特征在于,矩形架(21)的顶部上设置有第二矫正机构(10),第二矫正机构(10)包括安装架(101)、旋转电机(102)、连接盘(103)、活动杆(104)、连接块(105)和矫正板(106);安装架(101)的水平中部位置处设置有旋转电机(102),旋转电机(102)的输出端与连接盘(103)连接,连接盘(103)的两端分别通过活动杆(104)与矫正板(106)活动连接,矫正板( 106) 转动安装在连接块(105) 上,连接块(105)设置在安装架( 101) 上,矫正板(106)转动安装在安装架(101)上。

3.一种根据权利要求2所述的升降式光刻机的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:将PCB板体沿着上料传送带(1)进行上料传送,并运输到位于中间传送带(7)处的升降工作台(8)处,定位板(89)将PCB板体停止在工件台(81)上;

步骤2:通过控制升降气缸(82)工作,带动工件台(81)向上移动,同时通过U型杆带动扩张板(84)向上移动,从而将带动PCB板体向上运动,当PCB板体运动到第二矫正机构(10)的位置处时,通过控制旋转电机(102)工作,带动连接盘(103)转动,连接盘(103)通过活动杆(104)带动矫正板(106)沿着连接块(105)进行转动,使得两块矫正板(106)将作用在位于工件台(81)上的PCB板体的一侧上,使得PCB板体水平地靠在定位板(89)上;

同时,扩张板(84)在向上移动时,将带动第二连接杆(87)和齿条(88)向上运动,然后通过齿条(88)与齿轮(91)之间的啮合作用,带动连接轴(94)转动,使得矫正柱(93)处于竖直状态,并使得矫正柱(93)作用在PCB板体的两侧;

步骤3:控制桁架(4)和光学机构(5)的光刻镜头进行移动,完成对PCB板体进行光刻加工处理。

4.根据权利要求3所述的一种升降式光刻机的加工方法,其特征在于,在步骤3中,当PCB板体光刻结束后,控制升降气缸(82)带动工件台(81)向下移动,并使得定位板(89)的水平面低于中间传送带(7)的水平面上,从而使得加工后的PCB板体直接落在中间传送带(7)上,输送至下料传送带(3)上,同时,第一矫正机构(9)上的矫正柱(93)也将回转;当输送结束后,升降气缸(82)将带动升降工作台(8)复位到原始位置处,等待下个PCB板体输送过来进行光刻加工处理。

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