[发明专利]一种升降式光刻机及其加工方法

说明书

本发明公开一种升降式光刻机，包括基架；基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带，基架的内部设置有中间传送带，基架的顶部设置有桁架，桁架上设置有光学机构；在中间传送带处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构，升降工作台沿着中间传送带升降运动；升降工作台包括工作台，工作台位于两个中间传送带之间，工作台的中部与升降气缸的输出端连接；工作台的两侧分别通过U型杆与扩张板连接；本发明的升降式光刻机在进行有序输送过程时，实现其对PCB板体升降式光刻处理，以及在升降过程中，对PCB板体进行定位对准、矫正处理，保证PCB板体光刻处理时的精准性。

技术领域

本发明属于光刻机技术领域，具体为一种升降式光刻机及其加工方法。

背景技术

光学加工广泛应用于半导体和PCB生产领域，是制作半导体器件、芯片和PCB板等产品的重要加工方法；

中国专利号CN216387740U公开了一种升降式光刻机，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工件台机构；光学机构包括光刻镜头，光刻镜头和镜头移动板；对位机构包括对位相机；工件台机构包括上工件台和下工件台，上工件台上设有上斜块升降机构，上工件台通过上斜块升降机构对台面进行垂直升降；下工件台上设有下斜块升降机构，下工件台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降；

基于上述现有技术，该升降式光刻机采用上下工件台对PCB板进行升降，来实现光刻处理的效果，但是这种工件台不能与传送带进行有效结合，从而将限制PCB板以输送带为流水线的方式，对PCB板体进行光刻加工处理，从而影响其对PCB板体进行光刻的效率。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述背景技术的问题，而提出一种升降式光刻机及其加工方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种升降式光刻机，包括上料传送带、基架、下料传送带、桁架、光学机构、中间传送带；

基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带，基架的内部设置有中间传送带，基架的顶部设置有桁架，桁架上设置有光学机构；

在中间传送带处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构，升降工作台沿着中间传送带升降运动；

升降工作台包括工件台、升降气缸、限位滑套、扩张板、定位板，工件台位于两个中间传送带之间，工件台的中部与升降气缸的输出端连接；工件台的两侧分别通过U型杆与扩张板连接；

U型杆包括导向杆、第一连接杆，导向杆的顶部与工件台的底面连接，导向杆的底部与第一连接杆的水平部的端部连接，第一连接杆的竖直部的端部与扩张板连接。

作为本发明进一步的方案：导向杆为竖直杆，第一连接杆为L形杆。

作为本发明进一步的方案：光学机构包括光刻镜头，基架为矩形框架结构，基架包括底座、矩形架和连接架，底座的两侧分别设置有矩形架，上料传送带和下料传送带贯穿矩形架的矩形槽；两个矩形架之间设置有连接架，桁架位于连接架上。

作为本发明进一步的方案：扩张板靠近升降工作台的侧壁上设置有定位板，定位板的水平高度高于工件台的水平高度。

作为本发明进一步的方案：在升降工作台的两侧设置有第一矫正机构；

第一矫正机构包括固定座，固定座内贯穿设置有连接轴，连接轴的一端通过齿轮连接件与扩张板连接，连接轴的另一端与矫正柱垂直连接；

连接轴与扩张板呈平行状态设置。

作为本发明进一步的方案：齿轮连接件包括第二连接杆，第二连接杆垂直安装在扩张板上，第二连接杆远离扩张板的端部上竖直设置有齿条，齿条与齿轮啮合连接，齿轮安装在连接轴的一端上。