[发明专利]硅基前驱体的提纯方法及提纯系统有效

专利信息
申请号: 202211323659.1 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115591272B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 刘颖;裴凯;赵毅;孙良礼;李晓婷 申请(专利权)人: 大连科利德光电子材料有限公司
主分类号: B01D11/04 分类号: B01D11/04;B01D15/10;B01J20/26;C07F7/21;B01J20/30
代理公司: 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 代理人: 周帅
地址: 116200 辽宁省大*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 前驱 提纯 方法 系统
【权利要求书】:

1.硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,包括以下步骤:

(S.1)将吸附剂分散于离子液体中,得到吸附浆料;

(S.2)将工业级硅基前驱体溶于吸附浆料中,使得工业级硅基前驱体与吸附剂相接触,从而使得工业级硅基前驱体中的金属离子杂质被吸附剂所吸附;

(S.3)吸附结束后,对粗品硅基前驱体进行精馏,去除硅基前驱体中的轻组分以及重组分,得到电子级硅基前驱体;

所述步骤(S.1)中的吸附剂的外表面还包覆有聚合物包覆体;

所述聚合物包覆体包括一层包覆在吸附剂外表面的氮掺杂基体层;

所述氮掺杂基体层外部化学键合聚丙烯酸钠链段。

2.根据权利要求1所述的硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,

所述硅基前驱体包含八甲基环四硅氧烷、三甲基硅烷、四甲基硅烷、三甲硅烷基胺、四乙氧基硅烷、二乙氧基甲基硅烷中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,

所述步骤(S.1)中的吸附剂包括活性炭、多孔氧化铝、硅胶粉、沸石中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,

所述吸附剂的制备方法如下:

(1)在吸附剂表面包覆一层含有氮原子的树脂;

(2)将包覆有氮原子树脂的吸附剂与丙烯酰氯反应,从而在包覆有氮原子树脂的吸附剂表面接枝丙烯酸基团,从而在吸附剂形成氮掺杂基体层,即中间体;

(3)将中间体与丙烯酸钠共聚,得到包覆有聚合物包覆体的吸附剂。

5.根据权利要求4所述的硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,

所述步骤(3)中间体与丙烯酸钠的质量比小于为1:2。

6.根据权利要求1所述的硅基前驱体的提纯方法,其特征在于,

所述步骤(S.2)中工业级硅基前驱体与吸附剂的接触温度0~20℃。

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