[发明专利]一种高电导率钽酸理晶片黑化的装置

权利要求书

1.一种高电导率钽酸理晶片黑化的装置，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)的顶部固定安装有反应罐(2)，所述反应罐(2)的一侧连通有通气组件(3)，所述反应罐(2)内腔的底部可拆卸安装有加热装置(8)，所述加热装置(8)的顶部可拆卸安装有顶出组件(9)，所述顶出组件(9)的顶部固定安装有振动组件(10)，所述基座(1)的顶部开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)的内部滑动连接有滑块(12)，所述滑块(12)的顶部固定安装有降温组件(13)。

2.根据权利要求1所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述反应罐(2)顶部的一侧开设有开孔(4)，所述反应罐(2)的顶部可拆卸安装有罐盖(5)，所述罐盖(5)底部的一侧固定安装有卡轴(6)，所述罐盖(5)的顶部可拆卸安装有把手(7)。

3.根据权利要求2所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述卡轴(6)的大小与开孔(4)的大小相适配，所述开孔(4)的数量为两个，所述卡轴(6)的数量与开孔(4)的数量一一对应，两个所述卡轴(6)的底部通过开孔(4)与反应罐(2)的顶部活动套接。

4.根据权利要求1所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述通气组件(3)包括氩气罐体(31)和氮气罐体(34)，所述氩气罐体(31)的顶部可拆卸安装有第一阀门(32)，所述氩气罐体(31)的一侧连通有第一气管(33)，所述第一气管(33)的一侧与反应罐(2)的表面连通，所述氮气罐体(34)的可拆卸安装有第二阀门(35)，所述氮气罐体(34)的一侧连通有第二气管(36)，所述第二气管(36)的一侧与反应罐(2)的表面连通。

5.根据权利要求1所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述顶出组件(9)包括水平板(91)，所述水平板(91)的底部固定安装有支撑柱(92)，所述支撑柱(92)与水平板(91)的夹角为三十度，所述支撑柱(92)的底部与加热装置(8)的顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述水平板(91)顶部的一侧固定连接有套管(93)，所述套管(93)的顶部开设有套孔(94)，所述套管(93)的内腔可拆卸安装有复合弹簧(95)，所述复合弹簧(95)的底部与套管(93)的内腔固定连接，所述复合弹簧(95)的顶部活动连接有伸缩管(96)，所述伸缩管(96)活动套接于套管(93)的内部，所述水平板(91)顶部的中间可拆卸安装有液压伸缩柱(97)。

7.根据权利要求6所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述振动组件(10)包括坩埚(101)，所述坩埚(101)的材质为硅，所述伸缩管(96)的顶部与坩埚(101)的底部固定连接，所述坩埚(101)的底部与液压伸缩柱(97)的顶部固定连接，所述坩埚(101)内腔的一侧固定安装有直柱(102)，所述直柱(102)的顶部可拆卸安装有伸缩弹簧(103)，所述伸缩弹簧(103)的顶部可拆卸安装有连接轴(104)，所述连接轴(104)的一侧固定安装有振动电机(105)。

8.根据权利要求1所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述降温组件(13)包括台架(131)，所述台架(131)的底部与滑块(12)的顶部固定连接，所述台架(131)的一侧开设有第一卡槽(132)，所述第一卡槽(132)的内部固定安装有左卡板(133)，所述台架(131)的另一侧开设有第二卡槽(134)，所述第二卡槽(134)的内部固定安装有右卡板(135)，所述台架(131)的顶部固定安装有存储筒(136)。

9.根据权利要求8所述的高电导率钽酸理晶片黑化的装置，其特征在于：所述存储筒(136)内腔的底部固定安装有固定块(137)，所述固定块(137)的顶部固定安装有长轴(138)，所述长轴(138)的一侧固定安装有承接轴(139)，所述承接轴(139)的一侧固定安装有风扇(1310)。