[发明专利]一种角度微调机构

说明书

本发明公开了一种角度微调机构，包括屈服轮，屈服轮安装于安装平台上，屈服轮的中心轮体和安装平台固定作为“不形变”的静止基体，屈服外环跟辐条与中心轮体相连，载物平台与屈服外环相连，光栅检测头安装于屈服外环一侧；固定板、压电陶瓷、顶块、电机固定头、电机构成该微调机构的驱动部分，安装于屈服轮左侧，压电陶瓷通过固定板固定于安装平台，电机通过电机固定头固定于安装平台；安装导轨、微动开关、螺栓座、挡片与连接件构成限位部分。本发明能够使得角度调节的精度高，抗振动能力强，且该机构在优于1×10^‑7Torr真空环境中进行工作并保证位移准确、定位精确和极高的精度。

技术领域

本发明涉及角度微调机构技术领域，具体涉及一种角度微调机构。

背景技术

目前主流的角度调节机构只通过电机或压电陶瓷实现，可以满足常规的角度调节需求。但对于有较高精度调节需求的机构来说，并不能满足其需求。

CN104500673A中，该案例使用采用导杆、滑槽和滚珠丝杠将电机的水平方向推力转变为角度调节。但是仅使用滚珠丝杠来调节其精度无法达到高精密光学仪器的需求，并且无法负载过重的物体。

发明内容

为了克服以上技术问题，本发明的目的在于提供一种角度微调机构，通过屈服轮的结构，能够使得角度调节的精度高，抗振动能力强，且该机构在优于1×10^-7Torr真空环境中进行工作并保证位移准确、定位精确和极高的精度。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种角度微调机构，包括安装平台1、屈服轮2、载物平台3、光栅检测头4、固定板5、压电陶瓷6、顶块7、电机固定头8、电机9、安装导轨10、微动开关11、螺栓座12、挡片13与连接件14；

屈服轮2安装于安装平台1上，屈服轮2的中心轮体16和安装平台1固定作为“不形变”的静止基体，屈服外环15跟辐条17与中心轮体16相连，载物平台3与屈服外环15相连，光栅检测头4安装于屈服外环15一侧；

固定板5、压电陶瓷6、顶块7、电机固定头8、电机9构成该微调机构的驱动部分，安装于屈服轮2左侧，压电陶瓷6通过固定板5固定于安装平台1，电机9通过电机固定头8固定于安装平台1；

安装导轨10、微动开关11、螺栓座12、挡片13与连接件14构成限位部分。

所述屈服轮2包括屈服外环15、中心轮体16与辐条17，辐条17与屈服外环15中心轮体16之间由柔性铰链连接。

所述屈服轮2左右对称设置有A结构，A结构用于与顶块7相连，上下对称设置有B结构，B结构与连接件14相连。

所述顶块7左侧为电机驱动(粗调)部分，电机固定头8连接于安装平台1上，电机9通过电机固定头8固定，顶块7右侧为电机驱动(细调)部分，固定板5连接于安装平台1上，压电陶瓷6通过固定板5固定，电机9与压电陶瓷5通过推动顶块7，向屈服轮提供绕屈服轮2圆周方向的切向外力，在外力的作用下，辐条17与屈服外环15连接的柔性铰链会发生形变，柔性铰链的形变会使屈服外环15产生绕轴线旋转的微小角度，带动载物平台3完成角度调节。

所述挡片13通过连接件14与屈服轮2相连，随着屈服轮2的转动而移动，挡片13两侧的微动开关11起到电限位的作用，通过安装导轨10调节限位范围，螺栓座12位于连接件14两侧，起到机械限位的作用。

所述连接件14两侧均有螺栓座12，通过螺栓实现机械限位，机械限位的行程通过调节螺栓来实现；两个微动开关11之间的距离通过安装导轨10进行调节，以实现电限位行程调节。

本发明的有益效果：

本发明中角度调节的精度更高，抗振动能力较强。