[发明专利]聚酰亚胺的表面处理方法及聚酰亚胺

权利要求书

1.一种聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，包括步骤：

采用化学除油溶液对聚酰亚胺进行化学除油处理；

采用化学粗化处理溶液进行化学粗化处理，形成粗化层；

对所述粗化层进行中和处理，采用去离子水对所述粗化层清洗直至中性；

对所述粗化层进行等离子体刻蚀形成嵌合层，其中，所述嵌合层包括多个间隔分布的嵌合单元，相邻所述嵌合单元之间具有嵌合槽。

2.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述嵌合单元为向镀层一侧凸出的凸出结构，所述嵌合单元包括主体及分布于所述主体周侧的多个延展部，相邻所述延展部之间具有占位槽，所述占位槽与所述嵌合槽连通。

3.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述化学除油处理溶液包含氢氧化钠溶液、磷酸钠溶液及碳酸钠溶液，且氢氧化钠溶液的浓度为5-10g/L、磷酸钠的浓度为30-40g/L、碳酸钠溶液的浓度为25-30g/L。

4.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述化学除油处理的处理温度为70-95℃，时间为20s-3min。

5.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述化学粗化处理溶液包含强碱溶液、高锰酸钾溶液、碳酸钠溶液、氨水、十二烷基苯磺酸钠溶液、水合肼，其中，所述强碱溶液的浓度为300-500g/L，所述高锰酸钾溶液的浓度为30-50g/L，碳酸钠溶液的浓度为10-20g/L、氨水的浓度为5-10mL/L，十二烷基苯磺酸钠溶液的浓度为2-5g/L，水合肼的浓度为10-20g/L，所述化学粗化处理的温度为50-60℃，所述化学粗化处理的时间为5-15min。

6.如权利要求4所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，制备所述化学粗化处理溶液包括步骤：

强碱溶于水中，搅拌得到强碱溶液；

加入高锰酸钾并进行搅拌；

加入碳酸钠和氨水并进行搅拌；

加入水合肼和十二烷基苯磺酸钠并进行搅拌，得到所述化学粗化处理溶液。

7.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述中和液包含如下组分磷酸及草酸，其中，磷酸的浓度为30-50mL/L，草酸的浓度为5-10g/L。

8.如权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜表面处理方法，其特征在于，中和处理温度为20-30℃，中和处理时间为1-2min。

9.如权利要求1所述的聚酰亚胺的表面处理方法，其特征在于，所述等离子体刻蚀处理包括采用刻蚀气体在电场作用下对聚酰亚胺进行刻蚀，其中，所述刻蚀气体为氮气或者氩气以及氢气的混合气体，刻蚀功率为300W-500W，刻蚀时间为5-20min，刻蚀气体的进气量为80-120sccm。

10.一种聚酰亚胺，其特征在于，通过权利要求1-9任一项所述聚酰亚胺的表面处理方法制得。