[发明专利]适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉

权利要求书

1.一种适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，包括沿横向依次设置的上料机构、固化机构、下料机构以及纵向设置在所述下料机构后方的收料机构，其特征在于：所述上料机构包括纵向设置的滑台（1）、设置在所述滑台（1）上的取料吸嘴（2）、设置在所述固化机构左侧的装载台（3）；

所述固化机构包括固化台（4）和能够盖合在所述固化台（4）上的炉盖（5），所述固化台（4）上设有若干个不同温度的加热区，所述加热区上横向设置有若干个凹槽（6），所述固化台（4）的下方设有能够将料片（7）从装载台（3）经过固化机构移转到下料机构上的步进机构；

所述下料机构对已完成固化的料片（7）进行移位对中并纵向移转至所述收料机构；

所述收料机构设置有接收所述下料机构移转来的所述料片（7）的料盒（8）。

2.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述下料机构包括将料片（7）移转至所述收料机构的输送辊（9）和用于将料片（7）夹紧对中的对中机构；

所述对中机构包括沿横向间隔平行设置的主对中板（10）和从对中板（11），所述主对中板（10）和所述从对中板（11）上端均设有若干个能够向上伸出所述输送辊（9）的对中杆（12）；

在所述主对中板（10）和所述从对中板（11）之间设置有对中导向机构，在所述主对中板（10）上设置有对中驱动机构，所述对中驱动机构驱动所述主对中板（10）远离或接近所述从对中板（11）移动；

所述主对中板（10）和所述从对中板（11）之间设有二根叠放的推杆（13），二根所述推杆（13）的中部设置有铰接轴（14），二根所述推杆（13）沿所述铰接轴（14）转动，二根所述推杆（13）的两端设置有轴承（15），所述主对中板（10）和所述从对中板（11）的底端设置有纵向的滚道（16），所述轴承（15）可沿所述滚道（16）滚动。

3.根据权利要求2所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述下料机构还包括拨料装置、驱动所述拨料装置竖向移动的竖向驱动装置、驱动所述竖向驱动装置纵向移动的纵向驱动装置；

所述拨料装置包括转动设置在竖向驱动装置的拨料板（17）上的拨料杆（18）、设置在所述拨料杆（18）尾端的拨块（19）、连接在所述拨块（19）上的复位弹簧（20）、设置在与所述复位弹簧（20）相对一侧的限位块（21），所述复位弹簧（20）顶推所述拨块（19）使所述拨块（19）贴紧在所述限位块（21）上。

4.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述收料机构包括收料架（22）、竖向安装在所述收料架（22）上的收料丝杆（23）、套设在所述收料丝杆（23）上的底托板（24）、放置在所述底托板（24）上的料盒（8）；

所述收料丝杆（23）的顶端设有收料电机（25），所述收料电机（25）可带动所述收料丝杆（23）转动，从而带动放置在所述底托板（24）上的料盒（8）上下移动。

5.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述步进机构包括横向设置的步进丝杆（26）、安装在所述步进丝杆（26）一端的步进电机（27）、套设在所述步进丝杆（26）上的步进螺母（28）、与所述步进螺母（28）固定连接的步进架（29），所述步进架（29）的两端分别设置有左钢索座（30）和右钢索座（31），所述左钢索座（30）和所述右钢索座（31）之间固定有穿设在所述凹槽（6）中的钢索（32）；

所述步进电机（27）可驱动所述步进丝杆（26）转动，从而驱动所述步进螺母（28）沿着所述步进丝杆（26）左右移动，进而驱动安装在所述左钢索座（30）和所述右钢索座（31）上的钢索（32）左右移动；

所述步进架（29）的下方还设有偏心电机（33），所述偏心电机（33）的输出轴上套设有偏心轮（34），所述偏心电机（33）可驱动所述偏心轮（34）转动，从而抬升或降落所述步进架（29），进而使得所述钢索（32）升出或回落所述凹槽（6）中。