[发明专利]一种集成式芯片封装方法、封装单元、基板及电子产品在审
申请号: | 202211394149.3 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN115763274A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 李源梁;龙建飞;刘二微;白云芳 | 申请(专利权)人: | 北京唯捷创芯精测科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/552;H01L23/31 |
代理公司: | 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 | 代理人: | 董烨飞;陈曦 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 芯片 封装 方法 单元 电子产品 | ||
1.一种集成式芯片封装方法,其特征在于包括以下步骤:
在基板上预先制备分区屏蔽柱;
在所述分区屏蔽柱的两侧分别设置不同芯片或器件;
通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材;
切割为封装单元后,在所述塑封材外表面覆盖与所述分区屏蔽柱连接的电磁屏蔽层。
2.如权利要求1所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:所述在基板上预先制备分区屏蔽柱的步骤,进一步包括:
S11:在基板基材上形成接地连接垫;
S12:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;
S13:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;
S14:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。
3.如权利要求1所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:所述在基板上预先制备分区屏蔽柱的步骤,进一步包括:
S311:在基板基材上形成接地连接垫;
S312:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;
S313:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;
S314:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。
4.如权利要求1~3中任意一项所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:
通过塑封工艺形成高于所述分区屏蔽柱的塑封材;
利用开槽工艺,使所述分区屏蔽柱上方的塑封材料被去除,直到所述分区屏蔽柱从所述塑封材中暴露出来。
5.如权利要求1~3中任意一项所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:
在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中包括,形成与所述分区屏蔽柱高度相同的塑封材。
6.一种集成式芯片封装方法,其特征在于包括以下步骤:
将第一芯片或器件连接到基板的接地连接垫的一侧,然后将预先制备的分区屏蔽柱焊接到基板上的接地连接垫上;
在所述分区屏蔽柱的另一侧将第二芯片或器件连接到基板;
通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材;
切割为封装单元后,在所述塑封材外表面覆盖与所述分区屏蔽柱连接的电磁屏蔽层。
7.如权利要求6所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:
所述分区屏蔽柱是预先制备的金属柱体。
8.如权利要求6或7所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:
通过塑封工艺形成高于所述分区屏蔽柱的塑封材;
利用开槽工艺,使所述分区屏蔽柱上方的塑封材料被去除,直到所述分区屏蔽柱从所述塑封材中暴露出来。
9.如权利要求6或7所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:
形成与所述分区屏蔽柱高度相同的塑封材。
10.一种集成式芯片封装用基板,其特征在于包括基板基材,形成在基板基材上的接地连接垫,以及连接在接地连接垫上的分区屏蔽柱。
11.如权利要求10所述的集成式芯片封装用基板,其特征在于:
所述分区屏蔽柱是预先制备的金属柱体,通过焊接连接到所述基板。
12.如权利要求10所述的集成式芯片封装用基板,其特征在于制备所述分区屏蔽柱,包括以下步骤:
S11:在基板基材上形成接地连接垫;
S12:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;
S13:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;
S14:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。
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