[发明专利]一种集成式芯片封装方法、封装单元、基板及电子产品在审

专利信息
申请号: 202211394149.3 申请日: 2022-11-08
公开(公告)号: CN115763274A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 李源梁;龙建飞;刘二微;白云芳 申请(专利权)人: 北京唯捷创芯精测科技有限责任公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/552;H01L23/31
代理公司: 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 代理人: 董烨飞;陈曦
地址: 100176 北京市大兴区经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成 芯片 封装 方法 单元 电子产品
【权利要求书】:

1.一种集成式芯片封装方法,其特征在于包括以下步骤:

在基板上预先制备分区屏蔽柱;

在所述分区屏蔽柱的两侧分别设置不同芯片或器件;

通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材;

切割为封装单元后,在所述塑封材外表面覆盖与所述分区屏蔽柱连接的电磁屏蔽层。

2.如权利要求1所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:所述在基板上预先制备分区屏蔽柱的步骤,进一步包括:

S11:在基板基材上形成接地连接垫;

S12:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;

S13:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;

S14:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。

3.如权利要求1所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:所述在基板上预先制备分区屏蔽柱的步骤,进一步包括:

S311:在基板基材上形成接地连接垫;

S312:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;

S313:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;

S314:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。

4.如权利要求1~3中任意一项所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:

通过塑封工艺形成高于所述分区屏蔽柱的塑封材;

利用开槽工艺,使所述分区屏蔽柱上方的塑封材料被去除,直到所述分区屏蔽柱从所述塑封材中暴露出来。

5.如权利要求1~3中任意一项所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:

在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中包括,形成与所述分区屏蔽柱高度相同的塑封材。

6.一种集成式芯片封装方法,其特征在于包括以下步骤:

将第一芯片或器件连接到基板的接地连接垫的一侧,然后将预先制备的分区屏蔽柱焊接到基板上的接地连接垫上;

在所述分区屏蔽柱的另一侧将第二芯片或器件连接到基板;

通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材;

切割为封装单元后,在所述塑封材外表面覆盖与所述分区屏蔽柱连接的电磁屏蔽层。

7.如权利要求6所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:

所述分区屏蔽柱是预先制备的金属柱体。

8.如权利要求6或7所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:

通过塑封工艺形成高于所述分区屏蔽柱的塑封材;

利用开槽工艺,使所述分区屏蔽柱上方的塑封材料被去除,直到所述分区屏蔽柱从所述塑封材中暴露出来。

9.如权利要求6或7所述的集成式芯片封装方法,其特征在于:在通过塑封工艺形成不低于所述分区屏蔽柱的塑封材的步骤中,进一步包括:

形成与所述分区屏蔽柱高度相同的塑封材。

10.一种集成式芯片封装用基板,其特征在于包括基板基材,形成在基板基材上的接地连接垫,以及连接在接地连接垫上的分区屏蔽柱。

11.如权利要求10所述的集成式芯片封装用基板,其特征在于:

所述分区屏蔽柱是预先制备的金属柱体,通过焊接连接到所述基板。

12.如权利要求10所述的集成式芯片封装用基板,其特征在于制备所述分区屏蔽柱,包括以下步骤:

S11:在基板基材上形成接地连接垫;

S12:在基板基材和接地连接垫上覆盖干膜;

S13:在接地连接垫上形成贯穿干膜的填充孔;

S14:利用填充孔中形成分区屏蔽柱。

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