[发明专利]获取并处理CDSEM文件的方法在审
| 申请号： | 202211402206.8 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN115828878A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 刘朗;陆正;江志兴 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G06F40/186 | 分类号： | G06F40/186;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦健 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 获取 处理 cdsem 文件 方法 | ||
1.一种获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述方法包括：
通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；
将所述晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对所述光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；
于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取所述CDSEM文件；
对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；
判断所述目标数据是否为FEM数据；
若判断结果为是，利用数据分析库将所述目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用所述数据分析库将所述目标数据转换为第二种形式的所述模板文件；
于所述终端导出所述模板文件。
2.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，通过调节量测机台的所述机台参数以调节获取所述CDSEM文件的速度。
3.根据权利要求1或2所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述CDSEM文件为MSR文件。
4.根据权利要求3所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出所述目标数据的方法包括：通过re正则匹配的方式从所述CDSEM文件中筛选出所述目标数据。
5.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述模板文件为Excel文件。
6.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，判断所述目标数据是否为FEM数据的方法包括：于所述终端键入判断指令。
7.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述数据分析库包括pandas库。
8.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，第一种形式的所述模板文件具有包括晶圆横坐标及晶圆纵坐标的二维表。
9.根据权利要求8所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，第二种形式的所述模板文件中具有包括所述晶圆横坐标、所述晶圆纵坐标及测量点的二维表。
10.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，导出所述模板文件的方法包括：于所述终端输入自定义的所述模板文件的路径。
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