[发明专利]获取并处理CDSEM文件的方法

说明书

本发明提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；将晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取CDSEM文件；对CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；判断目标数据是否为FEM数据；若判断结果为是，利用数据分析库将目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用数据分析库将目标数据转换为第二种形式的模板文件；于终端导出模板文件。通过本发明解决了以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种获取并处理CDSEM文件的方法。

背景技术

CDSEM(Critical Dimension Scanning Electronic Microscope,关键尺寸扫描电子显微镜)是一种在半导体制程中用于测量晶圆上图案的关键尺寸(CD)的仪器，其工作原理：从电子枪照射出的电子束通过聚光透镜汇聚，穿过开孔(aperture)到达测定对象的图案上，利用探测器捕捉放出的二次电子并将其变换为电信号，获得二维图像，以二维图像信息为基础高精度地测量出测定对象的关键尺寸。

而且，随着工艺节点的减小，CDSEM量测在实现芯片量产、提升良率的过程中必不可少，此过程需依靠大量的CDSEM量测数据来实现优化和验证。但从服务器端提取的MSR文件需要用户手动对其进行二次处理才可得到可读性较强的Excel文件，以至于提升了数据导出的门槛。

而在利用Hitachi High-Tech的H_DPROC数据处理软件读取服务器端CD数据并对CD数据进行处理时，因公司安全管控要求，服务器机房(server room)配备的电脑不能连接网络，且设备有限，办公软件无法激活，经常出现软件卡死的情况，不便于普通用户操作，影响工作效率。而且，在部分工作需求的CDSEM数据量庞大的情况下，利用上述工具读取并处理数据的效率较低。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，用于解决以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：

通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；

将所述晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对所述光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；

于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取所述CDSEM文件；

对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；

判断所述目标数据是否为FEM数据；

若判断结果为是，利用数据分析库将所述目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用所述数据分析库将所述目标数据转换为第二种形式的所述模板文件；

于所述终端导出所述模板文件。

可选地，通过调节量测机台的所述机台参数以调节获取所述CDSEM文件的速度。

可选地，所述CDSEM文件为MSR文件。

可选地，对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出所述目标数据的方法包括：通过re正则匹配的方式从所述CDSEM文件中筛选出所述目标数据。

可选地，所述模板文件为Excel文件。

可选地，判断所述目标数据是否为FEM数据的方法包括：于所述终端键入判断指令。

可选地，所述数据分析库包括pandas库。