[发明专利]一种芯片封装结构及其制备方法在审
申请号: | 202211405729.8 | 申请日: | 2022-11-10 |
公开(公告)号: | CN115642094A | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 曹超;邱金庆;甘润 | 申请(专利权)人: | 天芯互联科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 张小燕 |
地址: | 518100 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种芯片封装结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供第一芯片;
将所述第一芯片转移至承载板的凹槽中进行真空吸附固定,形成封装基板;所述承载板的凹槽中设置有吸附孔;
提供第二芯片,将所述第二芯片倒装并焊接至所述封装基板的第一芯片上,去除所述承载板,形成芯片叠层封装;
将所述芯片叠层封装组装连接至基板上。
2.根据权利要求1所述的芯片封装结构的制备方法,其特征在于,将所述第二芯片倒装并焊接至所述封装基板的第一芯片上包括:
将所述第二芯片倒装至所述封装基板的第一芯片上;
经过回流炉焊接所述第二芯片的焊盘和第一芯片的焊盘,以形成芯片叠层封装。
3.根据权利要求1所述的芯片封装结构的制备方法,其特征在于,将所述芯片叠层封装组装连接至基板上包括:
在所述基板上的组装区域进行点胶;
将所述芯片叠层封装贴片并固化至所述基板上的组装区域;
通过引线键合连接所述芯片叠层封装和所述基板上的焊盘。
4.根据权利要求3所述的芯片封装结构的制备方法,其特征在于,所述引线包括金线、银线或铜线。
5.一种芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构包括基板,以及组装到所述基板上的芯片叠层封装,所述芯片叠层封装包括:
封装基板,所述封装基板包括承载板,以及固定在所述承载板的凹槽中的
第一芯片,所述承载板的凹槽中设置有吸附孔,用于通过真空吸附设备进行真空吸附固定所述第一芯片;
第二芯片,所述第二芯片的焊盘与所述封装基板的第一芯片的焊盘连接;
所述承载板用于在所述芯片叠层封制作装完成后去除。
6.根据权利要求5所述的芯片封装结构,其特征在于,所述承载板中设置有多个凹槽,形成凹槽矩阵。
7.根据权利要求6所述的芯片封装结构,其特征在于,所述凹槽矩阵中,各个凹槽内均开设有圆形或椭圆形的吸附孔。
8.根据权利要求5所述的芯片封装结构,其特征在于,所述承载板为托盘或PCB板。
9.根据权利要求5所述的芯片封装结构,其特征在于,通过引线键合连接所述芯片叠层封装和所述基板上的焊盘。
10.根据权利要求7所述的芯片封装结构,其特征在于,各个所述凹槽内开设有至少一个吸附孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造