[发明专利]一种Nb3

权利要求书

1.一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）前驱体线材绕线

将干净的Nb₃Al前驱体线材在高真空腔室中的收放线轮处进行绕线处理；

2）抽真空、平面阴极溅射覆铜

通过对腔室进行抽真空至5x10^-3 Pa，同时开启腔室加热，再通过调节氩气流量，使真空度达 2x10^-3 Pa，启用线材加热器，对Nb₃Al前驱体线材进行加热，以去除线材表面水汽，加热完成后，启用离子源，对Nb₃Al前驱体线材表面进行离子源清洗，清洗完成后，启用平面阴极溅射电源，再启用卷绕电机运转，对Nb₃Al前驱体线材表面进行覆铜；

3）前驱体线材取线

Nb₃Al前驱体线材表面覆铜完成后，关闭线材加热器、离子源、平面阴极溅射电源，停止卷绕电机运转，打开放气阀，待腔室温度降至35℃后，将覆铜后的线材从收放线轮处取出。

2. 根据权利要求1所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤1）中，Nb₃Al前驱体线材的直径为0.7~1.2 mm，长度为1000 ~10000 m。

3.根据权利要求1所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤1）中，烘干温度为60~80℃，烘干时间为30~60min。

4.根据权利要求1所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤1）中，线材卷绕张力为10~30N。

5. 根据权利要求1所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤1）中，腔室加热过程的温度为300~350℃，持续时间为9~12 h；线材加热过程的温度为150~180℃，持续时间为9~12h；离子源清洗过程的电压强度为2000~3000V，持续时间为9~12 h。

6. 根据权利要求5所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤2）中，腔室加热过程的温度为300℃，持续时间为12 h；线材加热过程的温度为150℃，持续时间为12 h；离子源清洗过程的电压强度为2500 V，持续时间12 h。

7.根据权利要求1所述的一种Nb₃Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤2）中，平面阴极溅射过程，所用靶材为纯Cu靶材，溅射覆铜过程的电流强度为3.5~4.5A，每次覆铜厚度为1±0.15μm。

8.根据权利要求1所述的一种Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法，其特征在于，步骤2）中，卷绕电机运转的走线速度为2 m/min，放线张力为30 N，收线张力为40 N，排线速度为3000 rpm。