[发明专利]一种Nb3 在审
申请号: | 202211406938.4 | 申请日: | 2022-11-10 |
公开(公告)号: | CN116024536A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 周恩飞;潘熙锋 | 申请(专利权)人: | 福建师范大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/56 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
地址: | 350108 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 nb base sub | ||
本发明公开了一种Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材的表面覆铜方法,首先将Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材在高真空腔室中的收放线轮处进行绕线处理,对腔室进行抽真空,同时开启腔室加热,启用线材加热器,对Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材进行加热以去除线材表面水汽,接着对Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材表面进行离子源清洗,然后启用平面阴极溅射电源对Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材表面进行覆铜。本发明提供的Nbsubgt;3/subgt;Al前驱体线材的表面覆铜方法,不仅具有覆铜界面结合度高、线材应力应变性能好的优点,而且具备工艺流程简单、可大规模工业化生产的特点。
技术领域
本发明属于低温超导材料加工技术领域,具体涉及一种Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法。
背景技术
Nb3Al是目前超导转变温度(
目前,Nb3Al前驱体线材的制备过程分为“前驱体线材制备”和“热处理”两部分。前驱体线材通常采用Nb-Al箔材卷绕后制作成单芯棒,随后通过多芯组装、静液挤压和拉拔等工艺制作成多芯线材。热处理可分为两种,一种是“低温扩散热处理”,另一种是“高温急热急冷(RHQ)+ 成相热处理”。采用低温扩散热处理工艺时,前驱体单芯和多芯线材可以直径套在Cu管内进行加工获得Cu基体超导线材,但是热处理会产生杂相,无法获得化学计量比的Nb3Al,性能较低。采用RHQT工艺,可以获得接近化学计量比的Nb3Al,但是由于1940℃ 以上的热处理温度超过了Cu的熔点,因此无法在前驱体线的加工过程中引入Cu,需要在RHQ热处理后的线材表面进行覆Cu。
目前主要应用的几种覆Cu工艺有:轧制覆Cu工艺、离子镀和电镀工艺。轧制覆Cu工艺,其主要是将RHQ处理后的Nb(Al)ss复合体线材装进Cu管内直接进行拉拔,最后在800℃进行10h的低温成相热处理,成功获得Cu基体的Nb3Al超导圆线,该工艺流程虽然简单,但是拉拔的加工方式会导致外层Cu与Nb或Ta基体的结合强度较低,线材的应力应变性能较差。离子镀和电镀覆Cu工艺,其主要是在RHQ热处理后的线材表面镀一层厚度为1um的Cu,然后再通过电镀工艺在线材表面电镀厚度约为10um的Cu,以获得Cu基体的Nb3Al超导线材,该工艺可以获得界面结合强度高、接触电阻小和应力应变性能优良的Cu基体,但是该工艺流程复杂、成本高、周期长,不利于商业化应用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法,该方法具有界面结合度高、工艺流程简单、可大规模商业化生产等特点。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
一种Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法,包括以下步骤:
1)前驱体线材绕线
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