[发明专利]一种降低氟气中氟化氢含量的方法及装置

权利要求书

1.一种降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将含氟化氢的氟气输送至装有氟化钠球的吸附塔内，经氟化钠球吸附氟化氢后，获得净化后的氟气。

2.根据权利要求1所述的降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，步骤S1为：将含氟化氢的氟气输送至除尘器内进行除尘处理，将除尘处理后的氟气输送至装有氟化钠球的吸附塔内，经氟化钠球吸附氟化氢后，获得净化后的氟气，并将净化后的氟气输送至氟化岗位。

3.根据权利要求1所述的降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，还包括步骤S2，当氟化钠球吸附饱和后，对氟化钠球进行加热处理，将氟化钠球内的氟化氢解析出来，并将解析出来的氟化氢输送至尾气处理系统，对氟化氢进行净化处理，接着继续重复步骤S1。

4.根据权利要求3所述的降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，步骤S2中，加热温度为280-320℃，加热时间为2.0-3.5h。

5.根据权利要求3所述的降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，还包括步骤S3，当吸附塔或除尘器内的粉尘过多时，向吸附塔或除尘器内通入氮气，对吸附塔或除尘器内的粉尘进行吹扫。

6.根据权利要求5所述的降低氟气中氟化氢含量的方法，其特征在于，步骤S3中，氮气的压力为0.2-0.4MPa。

7.一种降低氟气中氟化氢含量的装置，其特征在于，包括吸附塔，吸附塔的外壁设有若干根沿其高度方向均匀分布的管式加热器，吸附塔的内部填充有氟化钠球，吸附塔的出口与氟化岗位连通。

8.根据权利要求7所述的降低氟气中氟化氢含量的装置，其特征在于，吸附塔的内部设有若干层沿其高度方向间隔设置的筛板，每层筛板上均填充有若干个氟化钠球。

9.根据权利要求7所述的降低氟气中氟化氢含量的装置，其特征在于，还包括除尘器，除尘器的进口连通有氟气总管，除尘器的出口与吸附塔的进口连通，吸附塔的出口与尾气处理系统的进口连通。

10.根据权利要求9所述的降低氟气中氟化氢含量的装置，其特征在于，吸附塔的进口和出口分别与红外分析仪连通，吸附塔的进口还连通有氮气总管，氮气总管与除尘器的出口连通。