[发明专利]测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质在审
申请号: | 202211412542.0 | 申请日: | 2022-11-11 |
公开(公告)号: | CN115856745A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 李德建;刘洋;冯曦;关媛;李博夫;李大猛 | 申请(专利权)人: | 北京智芯微电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00;G01R31/28;G01R19/10;G01R19/165 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 季永杰 |
地址: | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 设备 校准 方法 装置 芯片 存储 介质 | ||
1.一种自动测试设备的校准方法,其特征在于,所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道,所述自动测试设备与测量设备连接,所述方法包括:
控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值;
通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值;
获取电压预设值,并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值,所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内;
控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值;
通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值;
确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值,并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。
2.根据权利要求1所述的校准方法,其特征在于,控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值,包括:
控制所述至少一个电源通道产生第一电压;
对所述第一电压进行分压处理以得到所述电压标准值。
3.根据权利要求2所述的校准方法,其特征在于,在控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值后,所述方法还包括:
控制每个所述电源通道顺序导通,并通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对处于导通状态的所述电源通道所产生的电压标准值进行测量以得到所述第二电压测量值和所述第三电压测量值。
4.根据权利要求1所述的校准方法,其特征在于,根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准,包括:
获取所述测量通道的实际测量值;
将所述实际测量值与所述第二差值的和值作为所述测量通道的最终测量值。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的校准方法,其特征在于,所述预设差值范围为±200uV。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的校准方法,其特征在于,所述测量设备为高精度数字万用表。
7.一种芯片测试方法,其特征在于,包括:
通过上述权利要求1-6中任一项所述的校准方法对自动测试设备进行校准;
在确定所述自动测试设备校准正常时,则根据所述自动测试设备对所述芯片进行测试。
8.一种计算机可读存储介质,其特征在于,其上存储有自动测试设备的校准程序,该自动测试设备的校准程序被处理器执行时实现根据权利要求1-7中任一项所述的自动测试设备的校准方法。
9.一种自动测试设备,其特征在于,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的自动测试设备的校准程序,所述处理器执行所述自动测试设备的校准程序时,实现根据权利要求1-7中任一项所述的自动测试设备的校准方法。
10.一种自动测试设备的校准装置,其特征在于,所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道,所述校准装置包括控制单元,所述自动测试设备分别与测量设备和所述控制单元连接,所述控制单元用于:
控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值;通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值;获取电压预设值,并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值,所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内;控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值;通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值;确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值,并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。
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