[发明专利]测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质

说明书

本发明公开了一种自动测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质，其中，自动测试设备包括电源通道和测量通道，且自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准方法首先利用测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质。

背景技术

随着电子通讯技术飞速发展和集成电路制造工艺的不断改进,新材料及数字信号处理技术的不断进步，带有高精度电压基准源的SOC(System On Chip，系统级芯片)芯片广泛应用于智能电网等信号采集处理系统,以实现对电网状态和信息进行实时采集与监控，很多场景下电源基准源的设计精度会达到200uV。

在相关技术中，为了满足量产测试的需要，需要自动测试设备ATE(AutomaticTest Equipment，自动试验设备)能够提供高于200uV精度的电压源信号及高于200uV的电压测量精度。但目前用于批量测试生产的自动测试设备普遍达不到200uV的电压源信号及200uV电压测量精度，产业界最高端的ATE测试机设备，其电压源信号的精度也都是mV级别，普遍是2mV-5mV的官方指标，其电压测量的精度也都是mV级别，普遍是1mV-3mV的官方指标。而如果芯片设计厂商需要按照200uV精度的设计规格进行量产测试，将面临市面上可供选择的ATE测试机难以满足其要求的窘境。另外，市面上用于量产测试的ATE测试机的实际精度都是需要周期性对ATE测试机自身进行校准才可以达到上述官方指标，通常校准周期在六到十二个月，导致自动测试设备信号校准很可能会失效，大大降低了自动测试设备信号精度。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的第一个目的在于提出一种自动测试设备的校准方法，通过外接高精度仪表及控制电路对自动测试设备进行预校准，以提高自动测试设备信号精度。

本发明的第二个目的在于提出一种芯片测试方法。

本发明的第三个目的在于提出一种计算机可读存储介质。

本发明的第四个目的在于提出一种自动测试设备。

本发明的第五个目的在于提出一种自动测试设备的校准装置。

为达上述目的，本发明第一方面示例提出了一种自动测试设备的校准方法，所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道，所述自动测试设备与测量设备连接，所述方法包括：控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值；通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；获取电压预设值，并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值，所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值；通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值，并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。

本发明实施例的自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准方法首先利用测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。