[发明专利]一种硅环伤痕检测设备及硅环返修工艺

权利要求书

1.一种硅环伤痕检测设备，包括用于承载硅环的支撑座(20)以及用于设置所述支撑座(20)的底座(10),其特征在于：所述支撑座(20)与所述底座(10)转动连接，所述支撑座(20)的上侧设有第一检测组件，所述第一检测组件与所述底座(10)之间设有用于调节二者的水平间距的伸缩组件，所述第一检测组件包括上支座(40)，所述上支座(40)上设有驱动电机(41)，所述驱动电机(41)的驱动轴上设有横梁(42)，所述横梁(42)的转动平面与所述支撑座(20)的承载平面平行，所述横梁(42)上设有上激光头(43)与上接收器(44)，所述上激光头(43)的转动中心与所述述驱动电机(41)的驱动轴同心，所述上激光头(43)与所述支撑座(20)间隔设置，所述上激光头(43)的发射路径与所述支撑座(20)的承载平面垂直。

2.根据权利要求1所述的一种硅环伤痕检测设备，其特征在于：所述支撑座(20)上开设有支撑滑槽(21)，所述支撑座(20)上设有用于支撑硅环的支撑滑块(22)，所述支撑滑块(22)与所述支撑滑槽(21)滑动连接，所述支撑滑块(22)在所述支撑座(20)上环形阵列设有多个，所述支撑滑块(22)连接有用于驱动其移动的第一驱动组件，且该所述支撑滑块(22)的下侧设有第二检测组件，所述第二检测组件包括用于照射硅环平面的下激光头(32)以及用于接收经硅环平面反射的光线的下接收器(33)，所述支撑滑块(22)位于所述下激光头(32)的出射路径上时，所述第一驱动组件驱动所述支撑滑块(22)缩回所述支撑滑槽(21)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种硅环伤痕检测设备，其特征在于：所述第一驱动组件包括弹簧(23)、动力组件以及凹轮(25)；

所述弹簧(23)用于对所述支撑滑块(22)施加方向指向所述支撑座(20)的圆心的驱动力，所述弹簧(23)设置于所述支撑滑槽(21)的内部，所述动力组件用于驱动所述支撑座(20)转动；

所述凹轮(25)与所述底座(10)固定连接，所述凹轮(25)的外侧面与所述支撑滑块(22)抵压，所述凹轮(25)上开设有用于容纳所述支撑滑块(22)的凹槽(26)，所述支撑滑块(22)包括支撑状态与收纳状态，支撑状态时，所述支撑滑块(22)支撑硅环，随着支撑座(20)的转动，位于所述第二检测组件上侧的所述支撑滑块(22)滑入所述凹槽(26)的内部，所述支撑滑块(22)切换为收纳状态。

4.根据权利要求2所述的伤痕检测设备，其特征在于:所述支撑座(20)与所述上支座(40)之间设有滑杆(30)以及下支座(31)，所述滑杆(30)与所述伸缩组件的输出端连接，所述伸缩组件的安装端与所述底座(10)固定连接，所述滑杆(30)与所述下支座(31)竖直滑动连接，所述滑杆(30)与所述下支座(31)之间设有用于锁止二者相对位置的第一锁止组件，所述下激光头(32)与所述下接收器(33)设置于所述下支座(31)上，所述下支座(31)上还设有用于调节所述下激光头(32)的光线出射角度的调节组件。

5.根据权利要求4所述的一种硅环伤痕检测设备，其特征在于：所述调节组件包括调节板(34)，所述调节板(34)与所述下激光头(32)固定连接，所述调节板(34)与所述下支座(31)铰接，所述调节板(34)上开设有调节滑槽(35)，所述调节板(34)上设有调节螺栓(36)，所述调节螺栓(36)与所述调节滑槽(35)滑动连接，所述调节螺栓(36)与所述下支座(31)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅环伤痕检测设备，其特征在于：所述上接收器(44)设有多个且所述上激光头(43)与多个所述上接收器(44)自左至右依次线性排列。

7.根据权利要求6所述的一种硅环伤痕检测设备，其特征在于:所述底座(10)与所述上支座(40)之间设有滑杆(30)，所述滑杆(30)与所述伸缩组件的输出端连接，所述伸缩组件的安装端与所述底座(10)固定连接，所述上支座(40)与所述滑杆(30)竖直滑动连接，所述上支座(40)与所述滑杆(30)之间设有用于锁定二者相对位置的第二锁止组件。