[发明专利]用于基板接合的化学溶液注入方法及系统

权利要求书

1.一种用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，包括：

步骤a)通过位置固定装置放置基板组件，使得基板组件相对于底面倾斜，且使得借助于真空抽吸区域而形成的抽吸口高于借助于化学溶液注入区域而形成的注入口，所述基板组件包括彼此相对的第一基板及第二基板，所述第一基板及第二基板在各个边缘具有化学溶液注入区域、密封区域及真空抽吸区域；

步骤b)通过真空抽吸装置向所述基板组件的所述抽吸口施加真空抽吸力，通过化学溶液供给装置向所述基板组件的所述注入口供给化学溶液；及

步骤c)通过控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以使基于通过所述注入口注入的所述化学溶液的流量及压力中的一种以上，调节向所述注入口供给的所述化学溶液的供给量及施加于所述抽吸口的所述真空抽吸力中的一种以上。

2.根据权利要求1所述的用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，在所述步骤c)之后，还包括步骤d)，在所述步骤d)中，当通过所述控制装置判断所述化学溶液从所述抽吸口溢出时，通过所述化学溶液供给装置来停止对所述注入口的所述化学溶液的供给。

3.根据权利要求1所述的用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，在所述步骤c)中，通过所述控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以调节所述化学溶液的供给量及所述真空抽吸力中的一种以上，使得通过所述注入口注入的化学溶液的流量在预定的流量范围内。

4.根据权利要求1所述的用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，在所述步骤c)中，通过所述控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以调节所述化学溶液的供给量及所述真空抽吸力中的一种以上，使得通过所述注入口注入的所述化学溶液的压力在预定的压力范围内。

5.根据权利要求1所述的用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，在所述步骤a)中，通过所述位置固定装置放置所述基板组件，以使连接所述注入口及所述抽吸口的直线与所述底面之间的角度在15°以上且75°以下的范围内。

6.根据权利要求1所述的用于基板接合的化学溶液注入方法，其特征在于，所述注入口以多个注入口体现，

在所述步骤c)中，通过所述控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以使基于对各所述多个注入口的所述化学溶液的流量及压力中的一种以上，调节对各所述多个注入口的所述化学溶液的供给量及所述真空抽吸力中的一种以上。

7.一种用于基板接合的化学溶液注入系统，其特征在于，包括：

位置固定装置，所述位置固定装置用于放置基板组件，使得基板组件相对于底面倾斜，且使得借助于真空抽吸区域而形成的抽吸口高于借助于化学溶液注入区域而形成的注入口，所述基板组件包括彼此相对的第一基板及第二基板，所述第一基板及第二基板在各个边缘具有化学溶液注入区域、密封区域及真空抽吸区域；

真空抽吸装置，所述真空抽吸装置包括用于生成真空的真空生成部，以使向所述基板组件的所述抽吸口施加真空抽吸力；

化学溶液供给装置，所述化学溶液供给装置包括化学溶液供给部，所述化学溶液供给部向所述基板组件的所述注入口供给化学溶液；及

控制装置，所述控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以使基于通过所述注入口注入的所述化学溶液的流量及压力中的一种以上，调节向所述注入口供给的所述化学溶液的供给量及施加于所述抽吸口的所述真空抽吸力中的一种以上。

8.根据权利要求7所述的用于基板接合的化学溶液注入系统，其特征在于，当所述控制装置判断所述化学溶液从所述抽吸口溢出时，控制所述化学溶液供给装置，以使停止对所述注入口的所述化学溶液的供给。

9.根据权利要求7所述的用于基板接合的化学溶液注入系统，其特征在于，所述控制装置控制所述化学溶液供给装置及所述真空抽吸装置，以调节所述化学溶液的供给量及所述真空抽吸力中的一种以上，使得通过所述注入口注入的所述化学溶液的流量在预定的流量范围内。