[发明专利]一种降低硅片损伤的硅舟

权利要求书

1.一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于，包括平行且对向设置的法兰(1)和天板(5)，所述法兰(1)和天板(5)之间设有沟棒(2)，所述沟棒(2)的内侧设有用于承托硅片(3)的沟齿(4)；

所述沟棒(2)至少设有三根，包括两根前沟棒(21)和一根后沟棒(22)，所述前沟棒(21)的截面形状为7字形，所述前沟棒(21)上的沟齿(4)作为7字形的上半部分，所述前沟棒(21)本体作为7字形的下半部分；

三根所述沟棒(2)上的相应沟齿(4)在同一平面形成硅片容置槽，两根前沟棒(21)本体之间的最短连线长度大于硅片的直径，两根前沟棒(21)的沟齿(4)之间的最短连线长度小于硅片(3)的直径；

还包括支撑棒(41),所述支撑棒(41)活动设置于所述前沟棒(21)上，所述支撑棒(41)上固设有用于支撑所述沟齿(4)的支撑齿(42)，所述支撑齿(42)插置于相邻的两个所述沟齿(4)之间。

2.根据权利要求1所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述支撑棒(41)与所述前沟棒(21)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述沟齿(4)的上端面为斜面，所述沟齿(4)的上端面由外而内的向下倾斜，倾斜角度为α。

4.根据权利要求3所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述倾斜角度α为1-4°。

5.根据权利要求1所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述法兰(1)与所述天板(5)均位圆环板状结构，所述法兰(1)上设有下卡槽(11)，所述天板(5)上设有上卡槽(51)，所述沟棒(2)的下端部嵌设于下卡槽(11)的内部，所述沟棒(2)的上端部嵌设于上卡槽(51)的内部。

6.根据权利要求1至5之一所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述天板(5)上设有贯穿所述天板(5)的内环面与外环面的应力槽(52)。

7.根据权利要求1所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于，所述沟棒(2)设有五根，所述后沟棒(22)设有三根，三根所述后沟棒(22)位于两根所述前沟棒(21)的同侧且沿所述法兰(1)的周向间隔设置。

8.根据权利要求7所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于，两根所述前沟棒(21)的沟齿(4)之间的夹角为120°，三根所述后沟棒(22)中任意相邻两所述后沟棒(22)之间的夹角为45°，位于两侧的两个所述后沟棒(22)任一与所述前沟棒(21)的沟齿(4)的夹角为75°。

9.根据权利要求1所述的一种降低硅片损伤的硅舟，其特征在于：所述硅舟的制备材料为多晶硅。