[发明专利]洁净室废气送风系统及其送风方法

权利要求书

1.洁净室废气送风系统，其特征在于：包括洁净室排气管路、设置在洁净室排气管路的排气风机、送风通道、设置在送风通道的第一风阀、与洁净室排气管路连通的尾气处理通道、设置在尾气处理通道的第二风阀、待调温室、换热围壁件、以及废气外排管道；所述换热围壁件设置在待调温室内，且换热围壁件与待调温室的内壁共同围成换热风腔，所述送风通道的其中一端与洁净室排气管路连通，另一端与换热风腔连通；所述换热围壁件上设置有与换热风腔连通的进风口，所述进风口处安装有进风风机；所述换热围壁件上还设置有与进风口相对的出风口，所述出风口与废气外排管道连通。

2.如权利要求1所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述换热围壁件的顶端与待调温室的顶壁密封配合，且换热围壁件的底端与待调温室的底壁密封配合。

3.如权利要求1所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述出风口处安装有对流风机。

4.如权利要求3所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述进风风机位于待调温室的其中一端，所述对流风机位于待调温室的另一端。

5.如权利要求1所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述换热围壁件为换热铝合金板，该换热铝合金板包括围设在待调温室各侧壁一侧的主板体，所述主板体的两端均设置有与待调温室侧壁连接的连接板体。

6.如权利要求1所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述换热围壁件与待调温室的内壁还围成有与换热风腔相隔离的出风腔，所述出风口通过出风腔与废气外排管道连通。

7.如权利要求1所述的洁净室废气送风系统，其特征在于：所述换热围壁件通过固定件与待调温室的侧壁固定连接。

8.洁净室废气送风系统的送风方法，其特征在于：该洁净室废气送风系统包括洁净室排气管路、设置在洁净室排气管路的排气风机、送风通道、设置在送风通道的第一风阀、与洁净室排气管路连通的尾气处理通道、以及设置在尾气处理通道的第二风阀、待调温室、换热围壁件、以及废气外排管道；所述换热围壁件设置在待调温室内，且换热围壁件与待调温室的内壁共同围成换热风腔，所述送风通道的其中一端与洁净室排气管路连通，另一端与换热风腔连通；所述换热围壁件上设置有与换热风腔连通的进风口，所述进风口处安装有进风风机；所述换热围壁件上还设置有与进风口相对的出风口，所述出风口与废气外排管道连通；

该洁净室废气送风系统的送风方法包括以下步骤：

若待调温室室内温度处于第一预定范围值内时，控制排气风机运转，并控制第一风阀开启，使得从洁净室排气管路流向送风通道的洁净室废气进入换热风腔内通过换热围壁件与待调温室内的空气换热；

若待调温室室内温度处于第二预定范围值内时，控制排气风机和进风风机运转，并控制第一风阀开启，使得从洁净室排气管路流向送风通道的洁净室废气进入换热风腔内通过换热围壁件与待调温室内的空气换热，并在进风风机的抽吸作用下通过进风口进入待调温室内，再经出风口从废气外排管道排出。

9.如权利要求8所述的洁净室废气送风系统的送风方法，其特征在于：所述出风口处安装有对流风机，若待调温室室内温度处于第二预定范围值内时，控制排气风机、进风风机和对流风机运转，并控制第一风阀开启，使得从洁净室排气管路流向送风通道的洁净室废气进入换热风腔内通过换热围壁件与待调温室内的空气换热，并在进风风机的抽吸作用下通过进风口进入待调温室内，进入待调温室内的废气在对流风机的作用下形成对流，再经出风口从废气外排管道排出。

10.如权利要求8所述的洁净室废气送风系统的送风方法，其特征在于：所述待调温室室内温度处于第一预定范围值内为18℃待调温室室内温度22℃，或者25℃待调温室室内温度27℃；所述待调温室室内温度处于第二预定范围值内为待调温室室内温度≥27℃，或者待调温室室内温度≤18℃。