[发明专利]由Ag-Pd-Cu系合金构成的探针针用材料

权利要求书

1.一种探针针用材料，其由包含Ag、Pd、Cu、作为第一添加元素的B、作为第二添加元素的Zn、Bi、Sn中的至少任意一种元素和不可避免的杂质的Ag-Pd-Cu系合金构成，其中，

基于所述Ag-Pd-Cu系合金的Ag浓度、Pd浓度和Cu浓度的合计值将所述Ag浓度、所述Pd浓度、所述Cu浓度分别换算为Ag-Pd-Cu三元合金的Ag浓度S_Ag、Pd浓度S_Pd、Cu浓度S_Cu时，

所述S_Ag、所述S_Pd、所述S_Cu均在Ag-Pd-Cu三元系相图中的将A1点、A2点、A3点、A4点各点间用直线围成的多边形A1-A2-A3-A4的范围内，其中，A1点为Ag：5.5质量％、Pd：47.5质量％、Cu：47质量％，A2点为Ag：5.5质量％、Pd：58.5质量％、Cu：36质量％，A3点为Ag：18质量％、Pd：49质量％、Cu：33质量％，A4点为Ag：18质量％、Pd：45质量％、Cu：37质量％，

所述第一添加元素的浓度为0.1质量％以上且1.5质量％以下，

所述第二添加元素的浓度为0.1质量％以上且1.0质量％以下。

2.如权利要求1所述的探针针用材料，其中，所述S_Ag、所述S_Pd、所述S_Cu均在将A1点、A2点、B3点、B4点各点间用直线围成的多边形A1-A2-B3-B4的范围内，其中，B3点为Ag：13质量％、Pd：52.8质量％、Cu：34.2质量％，B4点为Ag：13质量％、Pd：46质量％、Cu：41质量％。

3.如权利要求1或权利要求2所述的探针针用材料，其中，所述S_Ag、所述S_Pd、所述S_Cu均在将C1点、A2点、C3点、C4点各点间用直线围成的多边形C1-A2-C3-C4的范围内，其中，C1点为Ag：5.5质量％、Pd：52质量％、Cu：42.5质量％，C3点为Ag：11质量％、Pd：54.3质量％、Cu：34.7质量％，C4点为Ag：11质量％、Pd：50质量％、Cu：39质量％。

4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的探针针用材料，其时效热处理后的电阻率为10μΩ·cm以下。

5.如权利要求1～权利要求4中任一项所述的探针针用材料，其维氏硬度为380Hv以上且580Hv以下。

6.如权利要求1～权利要求5中任一项所述的探针针用材料，其中，

将由Ag-Pd-Cu系合金构成的线材的一端固定，对所述线材交替地重复进行从直线状态以大致90°的角度折弯的第一折弯工序和以从折弯的状态回到所述直线状态的方式折弯的第二折弯工序，将所述第一折弯工序和第二折弯工序各自作为一次折弯次数来对直至所述线材断裂为止的折弯次数进行计数时，计数到的所述折弯次数为5次以上。

7.一种探针针，其包含权利要求1～权利要求6中任一项所述的探针针用材料。

8.一种探针针用材料的制造方法，其包括：对组成在Ag-Pd-Cu三元系相图中的将A1点、A2点、A3点、A4点各点间用直线围成的多边形A1-A2-A3-A4的范围内的Ag、Pd、Cu以及浓度为0.1质量％以上且1.5质量％以下的所述第一添加元素和浓度为0.1质量％以上且1.0质量％以下的所述第二添加元素进行熔铸来制造Ag-Pd-Cu系合金的工序，

其中，A1点为Ag：5.5质量％、Pd：47.5质量％、Cu：47质量％，A2点为Ag：5.5质量％、Pd：58.5质量％、Cu：36质量％，A3点为Ag：18质量％、Pd：49质量％、Cu：33质量％，A4点为Ag：18质量％、Pd：45质量％、Cu：37质量％。