[发明专利]一种用于ROSA气密性封装的封装工艺、密封装置及测试机构

权利要求书

1.一种密封装置，其特征在于：所述密封装置包括底盒以及能够盖合底盒的盖板，ROSA置于所述底盒设有的放置槽内，所述底盒上通过气阀连接有气管，所述盖板上设有透明盖，所述密封装置还包括锁定结构，所述锁定结构包括锁舌、与锁舌相对应的锁座以及活塞杆，所述锁舌转动连接于盖板上，所述锁座设置于底盒上并靠近锁舌的位置，所述锁座上设置有在盖板盖合于底盒上时插入的锁孔，所述活塞杆位于所述锁座外侧，所述活塞杆滑动连接于所述底盒上，所述活塞杆的底部设有活塞，位于所述活塞上方的第一腔室与所述底盒上设置的插接孔连通，位于所述活塞下方的第二腔室连接大气，所述气阀滑动安装于插接孔中，在气管抽气形成负压时，使第一腔室中压力低于第二腔室中压力，迫使活塞杆上移将锁舌抵紧于锁孔中，使盖板锁定于底盒上，同时气阀由于压力差作用向插接孔内移动直至关闭第一腔室，所述底盒上还安装有弹簧销，在所述气阀移动至关闭所述第一腔室时，所述弹簧销锁定所述气阀。

2.根据权利要求1所述的一种密封装置，其特征在于：所述盖板上对应于锁舌的下方设有限位斜壁，所述锁舌在转动至最下方抵靠限位斜壁时，所述锁舌靠向所述锁座倾斜，同时所述锁座上靠近锁舌的一侧设有平直面，在盖板接近盖合于底盒上时，所述限位斜壁相对于所述平直面倾斜。

3.一种用于ROSA气密性封装的封装工艺，其特征在于：所述封装工艺使用权利要求1-2中任一项所述的密封装置，所述封装工艺包括以下步骤：

步骤一，将ROSA放入密封装置内，同时将密封装置合上；

步骤二，将密闭的密封装置放入烤箱烘烤，同时使用真空泵连接气管给密封装置抽气；

步骤三，将抽完气的密封装置放到焊接机上定位，同时通过气管充入氦气，然后ROSA沿外壳边沿的焊接处通过激光焊接穿过透明盖将ROSA的开口封盖焊接上；

步骤四，将完成焊接的ROSA从密封装置内取出，放入测试机构内通过氦气侧漏仪进行漏气测试；如果泄漏率小于1×10^-6 mbar·L/s，则我们判定为无泄漏；然后将ROSA放入110℃的测试液中进行气泡测试，若两项测试均通过，则判定产品封装合格。

4.根据权利要求3所述的封装工艺，其特征在于：在步骤二中，将密闭的密封装置放入110℃的烤箱烘烤10小时以上。

5.一种用于权利要求3-4中任一项所述的一种用于ROSA气密性封装的封装工艺中的测试机构，其特征在于：所述测试机构包括底板，安装在底板上的滑轨，置于所述滑轨一端上的滑块，所述滑块上安装有把手，所述滑块上安装有密封盒，所述密封盒上设有通气孔，外壳罩在所述滑轨另一端外且安装在底板上，外壳上安装有气密性测试组件。

6.根据权利要求5所述的测试机构，其特征在于：气密性测试组件包括通过法兰活动安装在顶板上的导向轴，安装在顶板上的气缸，安装在气缸和导向轴上的移动块，安装在移动块上的缓冲垫，所述移动块内设有气体通道，所述缓冲垫上设有通孔，所述气体通道一端连接有通孔，且所述气体通道另一端安装有气管接头，当将滑块推向滑轨的另一端时，所述密封盒上的通气孔与通孔以及气体通道形成一个整体的通气渠道。

7.根据权利要求6所述的测试机构，其特征在于：当进行封装工艺的步骤四时，ROSA被从密封装置内取出后，将ROSA放入密封盒内，同时将滑块推向滑轨的另一端，直至密封盒上通气孔与通孔以及气体通道形成一个整体的通气渠道，通过气管接头对密封盒进行抽气，检测所抽取气体中氦气含量，整个抽气及检测的过程将持续约1分钟左右，其中前几秒仪器会检测到大量氦气成分，此为产品表面包含的氦气，在该阶段仪器不对测量值作判断；之后氦气检测量会迅速下降到一个极低的水平； 若产品本身存在泄露，在外部负压的情况下会持续有氦气渗出被仪器检测到，导致测试值明显高出正常水平。

8.根据权利要求6或7所述的测试机构，其特征在于：已知缓冲垫压缩应力p、以及缓冲垫压缩面积S，缓冲垫压缩时的反作用力R=p×S，气缸的推力大于反作用力R。