[发明专利]电子级多晶硅筛分装置在审
申请号: | 202211468898.6 | 申请日: | 2022-11-22 |
公开(公告)号: | CN115739580A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 闫家强;吴鹏;田新;张天雨 | 申请(专利权)人: | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | B07B1/10 | 分类号: | B07B1/10;B07B1/46;B08B15/04 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 季永杰 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 多晶 筛分 装置 | ||
1.一种电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,包括:
第一传送装置,所述第一传送装置包括第一筛分板,所述第一筛分板可选择地在所述第一传送装置沿第一方向的两端之间往复移动,所述第一筛分板上设置有沿第二方向贯穿所述第一筛分板的第一筛分孔;
第一收料仓,所述第一收料仓设置于所述第一传送装置沿所述第二方向的一侧且与所述第一传送装置正对,所述第一收料仓内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第一容纳腔;
第二传送装置,所述第二传送装置设置于所述第一筛分板运动方向的一端,所述第二传送装置包括第二筛分板,所述第二筛分板可选择地在所述第二传送装置沿所述第一方向的两端之间往复移动,所述第二筛分板上设置有沿所述第二方向贯穿所述第二筛分板的第二筛分孔,所述第一筛分孔的直径小于所述第二筛分孔的直径;
第二收料仓,所述第二收料仓设置于所述第二传送装置沿所述第二方向的一侧且与所述第二传送装置正对,所述第二收料仓内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第二容纳腔;
其中,所述第一方向为所述第一筛分板和所述第二筛分板的延伸方向,所述第二方向为所述第一筛分板和所述第二筛分板的厚度方向。
2.根据权利要求1所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,还包括:
第一吸尘管道,所述第一吸尘管道的一端与所述第一收料仓连通,所述第一吸尘管道的另一端与吸尘装置连接;
第一管道,所述第一管道内部形成有适于粉尘流通的流通通道,所述第一管道的一端与所述第一收料仓连通,所述第一管道的另一端与所述第二收料仓连通。
3.根据权利要求2所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,所述第一筛分孔的直径为45mm~55mm;和/或所述第二筛分孔的直径为90mm~110mm。
4.根据权利要求3所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,还包括:进料装置,所述进料装置背离所述第一传送装置的一端形成有进料口,所述进料装置朝向所述第一传送装置的一端形成有出料口,所述进料口的直径大于所述出料口的直径。
5.根据权利要求4所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,还包括:第二吸尘管道,所述第二吸尘管道的一端与所述进料装置连通,所述第二吸尘管道的另一端与所述第一吸尘管道连通。
6.根据权利要求4所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,所述出料口与所述第一筛分板之间的距离为20cm~30cm。
7.根据权利要求6所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,所述进料装置的至少部分内周壁涂覆有聚氨酯。
8.根据权利要求1所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,还包括:第三收料仓,所述第三收料仓设置在所述第二筛分板运动方向的一端,所述第三收料仓内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第三容纳腔。
9.根据权利要求8所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,还包括:
第一收料盒,所述第一收料盒设置在所述第一收料仓内,所述第一收料盒内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第四容纳腔;和/或
第二收料盒,所述第二收料盒设置在所述第二收料仓内,所述第二收料盒内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第五容纳腔;和/或
第三收料盒,所述第三收料盒设置在所述第三收料仓内,所述第三收料盒内形成有适于容纳所述电子级多晶硅的第六容纳腔。
10.根据权利要求9所述的电子级多晶硅筛分装置,其特征在于,形成所述第一筛分板的至少部分表面和/或所述第二筛分板的至少部分表面涂覆有聚氨酯;
所述第一收料盒的至少部分内壁和/或所述第二收料盒的至少部分内壁和/或所述第三收料盒的至少部分内壁涂覆有聚氨酯。
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