[发明专利]气体质量监控方法和系统在审

专利信息
申请号: 202211481771.8 申请日: 2022-11-24
公开(公告)号: CN115754158A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 祝文静 申请(专利权)人: 鸿舸半导体设备(上海)有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01N15/06
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 曾静
地址: 201203 上海市中国(上海)自由贸*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 气体 质量 监控 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种气体质量监控方法,其特征在于,包括:

获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据;

确定所述检测数据与前一有效检测周期的有效检测数据之间的偏差;

根据所述偏差确定所述检测数据是否有效,以实现对所述待检测气体的质量监控。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

通过所设置的参数Error的值,判断与所述检测仪的通信连接是否异常;以及,

获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据,具体包括:

在判断出与所述检测仪的通信连接正常的情况下,获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述偏差确定所述检测数据是否有效,具体包括:

确定所述偏差的绝对值是否大于或等于设定值下限,并且小于或等于设定值上限;

若是,则确定所述检测数据有效;或,

若否,则确定所述检测数据无效。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括

检测所述检测仪周边环境的氢气浓度和风速;

根据所检测到的氢气浓度和风速,对所述检测仪所连接的电源以及报警系统进行控制。

5.一种气体质量监控系统,其特征在于,包括:气体输送管道、采样管道、检测仪和可编程逻辑控制器,其中:

所述气体输送管道用于输送待检测气体;

所述采样管道的一端连接所述气体输送管道,另一端连接所述检测仪;

所述检测仪,用于对通过所述采样管道中的待检测气体进行周期性检测;

所述可编程逻辑控制器,用于通过执行如权利要求1~4任意一项所述的方法,以实现对所述待检测气体的质量监控。

6.根据权利要求5所述的气体质量监控系统,其特征在于,所述采样管道具体包括水份分析仪采样管道、氧份分析仪采样管道和颗粒分析仪采样管道;所述检测仪具体包括水份分析仪、氧份分析仪和颗粒分析仪;其中:

所述水份分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道,另一端连接所述水份分析仪;

所述氧份分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道,另一端连接所述氧份分析仪;以及,

所述颗粒分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道,另一端连接所述颗粒分析仪。

7.根据权利要求5所述的气体质量监控系统,其特征在于,所述气体质量监控系统还包括气体压力调节器;以及,

所述气体输送管道的管道入口连接所述气体压力调节器。

8.根据权利要求5所述的气体质量监控系统,其特征在于,所述气体质量监控系统还包括:展示模块,用于展示所述检测数据。

9.根据权利要求5所述的气体质量监控系统,其特征在于,所述气体输送管道和所述采样管道设置有压力传感器;以及,

所述可编程逻辑控制器还包括告警子模块,所述告警子模块用于在所述压力传感器检测到所述气体输送管道或所述采样管道,管道内的气压大于第一预设气压的情况下,发出告警信息,以提示管道发生堵塞。

10.根据权利要求9所述的气体质量监控系统,其特征在于,所述告警子模块,还用于在所述压力传感器检测到所述气体输送管道或所述采样管道,管道内的气压大于第二预设气压的情况下,发出第二告警信息,以提示管道发生严重堵塞,其中,所述第二预设气压大于所述第一预设气压。

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