[发明专利]气体质量监控方法和系统

说明书

本申请提供气体质量监控方法和系统。该气体质量监控方法包括：获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据；确定所述检测数据与前一有效检测周期的有效检测数据之间的偏差；根据所述偏差确定所述检测数据是否有效，以实现对所述待检测气体的质量监控。因此，能够利用该气体质量监控方法对气体质量进行监控。

技术领域

本申请涉及气体检测技术领域，具体而言，涉及气体质量监控方法和系统。

背景技术

特种气体广泛应用于工业生产，比如在电子元器件的刻蚀工艺、扩散工艺、离子注入工艺和薄膜沉积工艺中，需要使用特种气体。在实际应用中，由于特种气体的纯度相对较高，其质量容易受到运输和输送条件的影响，而特种气体的质量会直接影响所生产的产品的良率，因此需要对特种气体的质量进行监控。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供气体质量监控方法和系统，用于对气体的质量进行监控。

本申请实施例第一方面提供了一种气体质量监控方法，包括：

获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据；

确定所述检测数据与前一有效检测周期的有效检测数据之间的偏差；

根据所述偏差确定所述检测数据是否有效，以实现对所述待检测气体的质量监控。

于一实施例中，所述方法还包括：

通过所设置的参数Error的值，判断与所述检测仪的通信连接是否异常；以及，

获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据，具体包括：

在判断出与所述检测仪的通信连接正常的情况下，获取检测仪在当前检测周期对待检测气体的检测数据。

于一实施例中，根据所述偏差确定所述检测数据是否有效，具体包括：

确定所述偏差的绝对值是否大于或等于设定值下限，并且小于或等于设定值上限；

若是，则确定所述检测数据有效；或，

若否，则确定所述检测数据无效。

于一实施例中，所述方法还包括

检测所述检测仪周边环境的氢气浓度和风速；

根据所检测到的氢气浓度和风速，对所述检测仪所连接的电源以及报警系统进行控制。

本申请实施例第二方面提供了一种气体质量监控系统，包括：气体输送管道、采样管道、检测仪和可编程逻辑控制器，其中：

所述气体输送管道用于输送待检测气体；

所述采样管道的一端连接所述气体输送管道，另一端连接所述检测仪；

所述检测仪，用于对通过所述采样管道中的待检测气体进行周期性检测；

所述可编程逻辑控制器，用于通过执行如权利要求1～4任意一项所述的方法，以实现对所述待检测气体的质量监控。

于一实施例中，所述采样管道具体包括水份分析仪采样管道、氧份分析仪采样管道和颗粒分析仪采样管道；所述检测仪具体包括水份分析仪、氧份分析仪和颗粒分析仪；其中：

所述水份分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道，另一端连接所述水份分析仪；

所述氧份分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道，另一端连接所述氧份分析仪；以及，

所述颗粒分析仪采样管道的一端连接所述气体输送管道，另一端连接所述颗粒分析仪。

于一实施例中，所述气体质量监控系统还包括气体压力调节器；以及，