[发明专利]清洗装置在审
申请号: | 202211535384.8 | 申请日: | 2022-11-30 |
公开(公告)号: | CN115815198A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 李亮亮 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 李红标 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 装置 | ||
1.一种清洗装置,其特征在于,包括:
清洗槽,所述清洗槽具有清洗腔;
第一承载结构,所述第一承载结构用于承载待清洗件,所述第一承载结构可移动;
第二承载结构,所述第二承载结构用于承载所述待清洗件,所述第二承载结构可移动;
驱动机构,所述驱动机构用于在驱动所述第一承载结构移动至脱离所述待清洗件的情况下,驱动所述第二承载结构移动至承载所述待清洗件;
所述驱动机构用于在驱动所述第一承载结构移动至承载所述待清洗件的情况下,驱动所述第二承载结构移动至脱离所述待清洗件。
2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述驱动机构包括:
第一驱动机构与第二驱动机构,所述第一驱动机构在驱动所述第一承载结构沿所述清洗腔的高度方向向下移动至脱离所述待清洗件的情况下,所述第二驱动机构驱动所述第二承载结构沿所述清洗腔的高度方向向上移动至承载所述待清洗件;
所述第一驱动机构在驱动所述第一承载结构沿所述清洗腔的高度方向向上移动至承载所述待清洗件的情况下,所述第二驱动机构驱动所述第二承载结构沿所述清洗腔的高度方向向下移动至脱离所述待清洗件。
3.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述第一承载结构包括:
多个第一承载杆,多个所述第一承载杆间隔设置,所述第一承载杆用于承载所述待清洗件,所述第一承载杆可移动,在所述第一承载杆移动过程中,所述第一承载杆脱离或承载所述待清洗件。
4.根据权利要求3所述的清洗装置,其特征在于,所述驱动机构包括:
第一驱动机构,每个所述第一驱动机构用于驱动一个所述第一承载杆移动。
5.根据权利要求4所述的清洗装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括第一凸轮,在所述第一凸轮转动过程中,所述第一凸轮驱动所述第一承载杆移动。
6.根据权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,所述第一驱动机构还包括:
第一齿轮,所述第一凸轮上设有所述第一齿轮,所述第一齿轮转动过程中带动所述第一凸轮转动。
7.根据权利要求6所述的清洗装置,其特征在于,所述第二承载结构包括:多个第二承载杆,多个所述第二承载杆间隔设置,所述第二承载杆用于承载所述待清洗件,所述第二承载杆可移动;
所述驱动机构还包括:第二驱动机构与第三齿轮,所述第二驱动机构包括第二凸轮与第二齿轮,所述第二凸轮上设有所述第二齿轮;
所述第一齿轮与所述第二齿轮均和所述第三齿轮啮合,所述第三齿轮可带动所述第一齿轮与所述第二齿轮转动,所述第二齿轮转动过程中带动所述第二凸轮转动,所述第二凸轮转动过程中驱动所述第二承载杆移动;
所述第一凸轮驱动所述第一承载杆移动至脱离所述待清洗件的情况下,所述第二凸轮驱动所述第二承载杆移动至承载所述待清洗件;
所述第一凸轮驱动所述第一承载杆移动至承载所述待清洗件的情况下,所述第二凸轮驱动所述第二承载杆移动至脱离所述待清洗件。
8.根据权利要求7所述的清洗装置,其特征在于,所述第一承载杆与所述第二承载杆间隔平行设置;和/或
所述驱动机构还包括:第四齿轮与驱动电机,所述第四齿轮与所述第三齿轮啮合,所述驱动电机用于驱动所述第四齿轮转动,所述第四齿轮转动带动所述第三齿轮转动;和/或
所述第一承载杆与所述清洗腔底部的间隔距离大于所述第二承载杆与所述清洗腔底部的间隔距离;和/或
每个所述第一承载杆与所述清洗腔底部的间隔距离相等,每个所述第二承载杆与所述清洗腔底部的间隔距离相等。
9.根据权利要求4-6中任一项所述的清洗装置,其特征在于,所述第一承载结构与所述第二承载结构的结构相同;
所述驱动机构包括:第二驱动机构,所述第一驱动机构与所述第二驱动机构的结构相同,所述第二驱动机构用于驱动所述第二承载结构。
10.根据权利要求3所述的清洗装置,其特征在于,所述第一承载结构与所述第二承载结构的结构相同。
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