[发明专利]一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质

权利要求书

1.一种半导体加工脚本获取方法，其特征在于，应用于半导体加工脚本获取系统，所述系统包括客户端和服务器，所述客户端与所述服务器通过局域网连接，所述方法包括：

所述客户端向所述服务器发送目标机型编码，其中，所述目标机型编码为预先为目标加工机型配置的机型编码，所述目标加工机型为在对半导体进行目标工艺的加工时所需使用的加工机型；

所述服务器根据所述目标机型编码从脚本数据库中确定出与所述目标加工机型相匹配的初始加工脚本，并将所述初始加工脚本发送至所述客户端；

所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储后，所述方法还包括：

所述服务器判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则；

若所述目标加工脚本符合预设的脚本语法规则，所述服务器则将所述目标加工脚本进行发布。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述服务器判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则后，所述方法还包括：

若所述目标加工脚本不符合预设的脚本语法规则，所述服务器则将预设的警示信息发送至所述客户端。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述客户端向所述服务器发送目标机型编码前，所述方法还包括：

所述服务器响应所述客户端发送的脚本存储请求，将由所述客户端输入的加工机型以及与所述加工机型相匹配的加工脚本存储至所述脚本数据库。

5.一种半导体加工脚本获取系统，其特征在于，所述系统包括客户端和服务器，所述客户端与所述服务器通过局域网连接：

所述客户端用于向所述服务器发送目标机型编码，其中，所述目标机型编码为预先为目标加工机型配置的机型编码，所述目标加工机型为在对半导体进行目标工艺的加工时所需使用的加工机型；

所述服务器用于根据所述目标机型编码从脚本数据库中确定出与所述目标加工机型相匹配的初始加工脚本，并将所述初始加工脚本发送至所述客户端；

所述服务器用于响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述服务器在用于响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储后，还用于：

判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则；

若所述目标加工脚本符合预设的脚本语法规则，则将所述目标加工脚本进行发布。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述服务器在用于判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则后，还用于：

若所述目标加工脚本不符合预设的脚本语法规则，则将预设的警示信息发送至所述客户端。

8.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，在所述客户端向所述服务器发送目标机型编码前，所述服务器用于响应所述客户端发送的脚本存储请求，将由所述客户端输入的加工机型以及与所述加工机型相匹配的加工脚本存储至所述脚本数据库。

9.一种计算机设备，其特征在于，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如权利要求1至4中任一所述的半导体加工脚本获取方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至4中任意一项所述的半导体加工脚本获取方法的步骤。