[发明专利]一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质

说明书

本申请提供了一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质，其中，所述方法包括：所述客户端向所述服务器发送目标机型编码，其中，所述目标机型编码为预先为目标加工机型配置的机型编码，所述目标加工机型为在对半导体进行目标工艺的加工时所需使用的加工机型；所述服务器根据所述目标机型编码从脚本数据库中确定出与所述目标加工机型相匹配的初始加工脚本，并将所述初始加工脚本发送至所述客户端；所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储。采用上述方法，以减少在获取半导体加工脚本时所需耗费的时间。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质。

背景技术

在使用自动化制造设备进行半导体产品制造或者加工时，需要根据待制造产品的产品种类和产品参数设计用于制造该产品的产品制造程序，以使自动化制造设备可以根据该产品制造程序对该产品进行制造。

现有技术中，在每次需要对半导体产品进行加工时，都需要由开发人员针对当前半导体的制造工艺以及所需使用加工机台进行一次加工脚本的设计和编写，即需要开发人员重新设计编写以及输入一套完整的代码，才能使自动化制造设备根据输入的代码所组成的加工脚本进行半导体加工。

发明人在研究中发现，由于一套加工脚本通常包含大量的代码，所以开发人员在设计，编写以及向设备输入一套完整的代码(设备获取到加工脚本)时通常需要耗费大量的时间，从而增加了在获取半导体加工脚本时所需耗费的时间。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质，以减少在获取半导体加工脚本时所需耗费的时间。

第一方面，本申请实施例提供了一种半导体加工脚本获取方法，应用于半导体加工脚本获取系统，所述系统包括客户端和服务器，所述客户端与所述服务器通过局域网连接，所述方法包括：

所述客户端向所述服务器发送目标机型编码，其中，所述目标机型编码为预先为目标加工机型配置的机型编码，所述目标加工机型为在对半导体进行目标工艺的加工时所需使用的加工机型；

所述服务器根据所述目标机型编码从脚本数据库中确定出与所述目标加工机型相匹配的初始加工脚本，并将所述初始加工脚本发送至所述客户端；

所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储。

可选地，在所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储后，所述方法还包括：

所述服务器判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则；

若所述目标加工脚本符合预设的脚本语法规则，所述服务器则将所述目标加工脚本进行发布。

可选地，在所述服务器判断所述目标加工脚本是否符合预设的脚本语法规则后，所述方法还包括：

若所述目标加工脚本不符合预设的脚本语法规则，所述服务器则将预设的警示信息发送至所述客户端。

可选地，在所述客户端向所述服务器发送目标机型编码前，所述方法还包括：

所述服务器响应所述客户端发送的脚本存储请求，将由所述客户端输入的加工机型以及与所述加工机型相匹配的加工脚本存储至所述脚本数据库。

第二方面，本申请实施例提供了一种半导体加工脚本获取系统，所述系统包括客户端和服务器，所述客户端与所述服务器通过局域网连接：