[发明专利]一种陶瓷盘清洗处理装置

权利要求书

1.一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，包括外壳(1)，所述外壳(1)的顶板在第一工位(2)、第二工位(3)和第三工位(4)的位置分别固定安装有排风口(5)，所述外壳(1)的顶板在第四工位(6)的位置固定安装有高效过滤器FFU(7)，所述外壳(1)的内部设置有晶圆搬运装置(8)、晶圆清洗装(9)置和晶圆存取机构(10)，所述晶圆清洗装(9)置分别设置于所述第一工位(2)、第二工位(3)、第三工位(4)和第四工位(6)上，所述晶圆存取机构(10)固定安装在所述第一工位(2)和第四工位(6)的一侧，所述第四工位(6)的晶圆清洗装(9)置上还固定安装有吹气清理装置(11)，所述晶圆清洗装(9)置包括上部清洗装置(12)和下部清洗装置(13)，所述上部清洗装置(12)安装在所述第一工位(2)、第二工位(3)、第三工位(4)和第四工位(6)一侧的横向位移装置(14)上，所述下部清理装置固定安装在所述第一工位(2)、第二工位(3)、第三工位(4)和第四工位(6)上。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述上部清洗装置(12)包括固定件(15)，所述固定件(15)上部设置有T形板(16)，所述T形板(16)上安装有传动齿轮(17)，所述T形板(16)的一端安装有从动齿轮(18)，所述从动齿轮(18)通过连接轴穿过T形板(16)连接有上部毛刷盘(19)，所述T形板(16)的一侧固定安装有上部旋转电机(20)，所述上部旋转电机(20)的上端通过连接轴连接有主动齿轮(21)，所述主动齿轮(21)与传动齿轮(17)之间通过皮带连接，所述传动齿轮(17)和从动齿轮(18)之间也通过皮带连接。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述下部清洗装置(13)包括安装板(22)，所述安装板(22)中心位置的底部固定安装有下部旋转电机(23)，所述下部旋转电机(23)的上端通过连接轴穿过安装板(22)连接有下部毛刷盘(24)，所述下部旋转电机(23)的周围设置有圆周旋转机构(25)。

4.根据权利要求3所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述圆周旋转机构(25)包括固定件(26)，所述固定件(26)固定安装在安装板(22)下位面板上，所述固定件(26)的底板上固定安装有距离调节装置(27)，所述距离调节装置(27)上安装有连接件(28)，所述连接件(28)上固定安装有转轴结构(29)，所述转轴结构(29)的上端通过连接轴连接有旋转元件(30)，所述转轴结构(29)的一侧通过齿轮和皮带连接有圆周旋转电机(31)，所述旋转电机固定安装在连接件(28)上。

5.根据权利要求4所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述距离调节装置(27)包括调节气缸(32)，所述气缸上设置有滑轨，所述滑轨上安装有滑块，所述转轴结构(29)安装在所述滑块上。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述横向位移装置(14)包括固定安装在滑板底板上的横向滑轨(33)，所述横向滑轨(33)的一端规定安装有横向驱动气缸，所述横向滑轨(33)上安装有滑块，所述晶圆清洗装(9)置固定安装在滑块上。

7.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘清洗处理装置，其特征在于，所述晶圆搬运装置(8)包括安装在传送带上的滑块，所述滑块上固定安装有支撑板，所述支撑板上贯穿安装有支杆(34)，所述支杆(34)上位于支撑板一侧的位置固定安装有内夹爪(35)，所述支杆(34)上远离支撑板的一端固定安装有外夹爪(36)。