[发明专利]一种金属反射棱镜模组动态抖动误差测量方法在审

专利信息
申请号: 202211553395.9 申请日: 2022-12-06
公开(公告)号: CN116086491A 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 阮本帅;李秋怡;洪超;高立恒;李省伟 申请(专利权)人: 北京比微精功科技有限公司
主分类号: G01C25/00 分类号: G01C25/00
代理公司: 北京恒律知识产权代理有限公司 11416 代理人: 张朝辉
地址: 100081 北京市海淀区中关村*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 反射 棱镜 模组 动态 抖动 误差 测量方法
【权利要求书】:

1.一种金属反射棱镜模组动态抖动误差测量方法,其特征在于:通过激光元器件将激光射线射向金属反射棱镜并且反射到检测板上,测量所述检测板与金属反射棱镜的距离L,测量反射光在检测板上形成的线条的线宽并减去光斑直径可以获得D,最终计算出棱镜的动态抖动角度θ,计算公式为:

θ=1/2×tan-1(D/L)。

2.根据权利要求1所述的金属反射棱镜模组动态抖动误差测量方法,其特征在于:所述金属反射棱镜模组包括金属反射棱镜、设置于所述金属反射棱镜底部的高速旋转电机和设置于所述高速旋转电机底部的安装底座,所述金属反射棱镜由所述高速旋转电机带动旋转。

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