[发明专利]MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置在审
申请号: | 202211560676.7 | 申请日: | 2022-12-07 |
公开(公告)号: | CN115783477A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 刘晨晖;冒凯;尧舜;胡斌;董国亮;汤秀娟 | 申请(专利权)人: | 华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D81/34 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明;赵吉阳 |
地址: | 225500 江苏省泰州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mo 固定 装置 温控 | ||
1.一种MO源瓶固定装置,其特征在于,包括槽体(1)、支撑件和至少两个固定组件,所述支撑件和固定组件均位于所述槽体(1)的容纳腔中,所述固定组件包括承托固定板(2)和连接杆(3),所述连接杆(3)的外端铰接在所述槽体(1)上,所述连接杆(3)的内端与所述承托固定板(2)铰接,所述支撑件连接每个所述承托固定板(2),多个所述承托固定板(2)和支撑件围成能够容纳MO源瓶(25)的容纳空间,所述支撑件能够伸缩,以使得所述连接杆(3)围绕其外端转动时,所述承托固定板(2)能够相互接近或者远离。
2.根据权利要求1所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述承托固定板(2)呈L形。
3.根据权利要求2所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述承托固定板(2)与MO源瓶(25)接触表面为圆弧面。
4.根据权利要求1所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述固定组件的数量为七个。
5.根据权利要求2所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述支撑件为弹性网(4)。
6.根据权利要求1所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,还包括锁定所述连接杆(3)以阻止所述连接杆(3)运动的锁定件。
7.根据权利要求6所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述锁定件包括中部铰接在所述槽体(1)上的锁止板(5)和用于驱动所述锁止板(5)转动的锁止驱动件,所述锁止板(5)的内端设置有第一锁止锯齿,所述连接杆(3)上设置有能够与所述第一锁止锯齿卡合的第二锁止锯齿,所述锁止驱动件能够驱动所述锁止板(5)围绕铰接轴转动以使得第一锁止锯齿与第二锁止锯齿卡合和分离。
8.根据权利要求7所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述锁止驱动件包括锁止拉杆(6),所述槽体(1)上开设有安装孔(7),所述锁止拉杆(6)可上下滑动地安装在所述安装孔(7)内,所述锁止拉杆(6)的下端与所述锁止板(5)铰接连接,所述锁止拉杆(6)的上端伸出所述槽体(1)上的安装孔(7)外。
9.根据权利要求6所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述连接杆(3)与所述槽体(1)铰接的一端上设置有刻度(8),所述槽体(1)上固定安装有指向所述刻度(8)的指针(9)以指示所述连接杆(3)的旋转角度。
10.根据权利要求1-9中任意一项所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述槽体(1)为可伸缩性槽体。
11.根据权利要求10所述的MO源瓶固定装置,其特征在于,所述槽体(1)包括弹性槽底(10)、多个弹性槽壁(11)和多根固定柱(12),所述固定柱(12)的下端固定连接在所述弹性槽底(10)上,所述弹性槽壁(11)设置在相邻的两根固定柱(12)之间并且与固定柱(12)固定连接,每两个相邻的固定柱(12)之间均设置有弹性槽壁(11),每个弹性槽壁(11)均与所述弹性槽底(10)固定连接,所述弹性槽底(10)、弹性槽壁(11)和固定柱(12)围成所述槽体(1)的容纳腔,所述连接杆(3)的外端铰接在所述固定柱(12)上。
12.一种MO源瓶温控装置,其特征在于,包括控制主体和根据权利要求1-11中任意一项所述的MO源瓶固定装置,所述控制主体包括壳体(13)、控制面板(14)、加热件(15)和温度探测件(16),所述壳体(13)上具有溶液腔(17),所述MO源瓶固定装置的槽体(1)安装在所述壳体(13)上,所述溶液腔(17)与所述槽体(1)的容纳腔连通,所述加热件(15)和温度探测件(16)安装在所述溶液腔(17)内,所述控制面板(14)安装在所述壳体(13)上,所述加热件(15)与所述温度探测件(16)与所述控制面板(14)连接。
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