[发明专利]MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置

说明书

本发明公开了一种MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置，所述MO源瓶固定装置包括槽体、支撑件和至少两个固定组件，支撑件和固定组件均位于槽体的容纳腔中，固定组件包括承托固定板和连接杆，连接杆的外端铰接在槽体上，连接杆的内端与承托固定板铰接，支撑件连接每个承托固定板，多个承托固定板和支撑件围成能够容纳MO源瓶的容纳空间，支撑件能够伸缩，以使得连接杆围绕其外端转动时，承托固定板能够相互接近或者远离。本发明提供的MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置可保证在使用不同规格的源瓶、在不同安装情形下的稳定性要求，保证了源瓶使用过程中外部稳定，达到出源稳定的目的。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种MO源瓶固定装置，以及包括该MO源瓶固定装置的MO源瓶温控装置。

背景技术

随着MOCVD 设备在半导体行业的广泛应用，作为配套设施之一的MO源瓶温控装置也越来越重要。MO源瓶是MO（Metalorganic Source）源的专用包装容器。MOCVD设备的MO源瓶需要放置于MO源瓶温控装置中，来控制外延生长的不同温度条件。MO源瓶温控装置一般为统一规格，而各MO源厂家提供的MO源瓶规格大小不一，导致一些MO源瓶放置在MO源瓶温控装置的槽体底部时，溶液就会没过整个源瓶，很明显不符合安装要求。此外，MO源瓶仅仅依靠两根细小的气体管拖住源瓶，致使源瓶悬浮在MO源瓶温控装置内，并不能得到很好地支撑。

而目前的办法就是在不同规格MO源瓶的底部进行人为垫高，起到一个暂时支撑不同规格MO源瓶的目的，但是MO源瓶温控装置内溶液的波动仍然会导致不同规格MO源瓶晃动，长此以往，极易造成MO源瓶安装接口处金属疲劳，从而导致金属管路破裂，进而导致MO源及特气泄漏的严重后果，而大部分MO源及特气都是易燃易爆且剧毒，极其容易给人身安全及生产安全带来不可挽回的巨大损失。

此外，目前所使用的部分MO源为固态源，固态源在使用过程中易在内部形成空洞区域，不稳定的外部生长环境极易造成固态源在生长过程中因晃动而坍塌，造成出源不稳定，进而导致浓度大幅波动，最终会导致生长的产品均匀性较差，造成损失。

发明内容

本发明的目的是提供一种MO源瓶固定装置，能够实现不同规格的MO源瓶的安装固定，避免MO源瓶晃动，从而可以降低MO源及特气泄漏的风险，保证出源的稳定性。

为了实现上述目的，本发明提供了一种MO源瓶固定装置，包括槽体、支撑件和至少两个固定组件，所述支撑件和固定组件均位于所述槽体的容纳腔中，所述固定组件包括承托固定板和连接杆，所述连接杆的外端铰接在所述槽体上，所述连接杆的内端与所述承托固定板铰接，所述支撑件连接每个所述承托固定板，多个所述承托固定板和支撑件围成能够容纳MO源瓶的容纳空间，所述支撑件能够伸缩，以使得所述连接杆围绕其外端转动时，所述承托固定板能够相互接近或者远离。

在一个优选的实施例中，所述承托固定板呈L形。

在一个优选的实施例中，所述承托固定板与MO源瓶接触表面为圆弧面。

在一个优选的实施例中，所述固定组件的数量为七个。

在一个优选的实施例中，所述支撑件为弹性网。

在一个优选的实施例中，所述MO源瓶固定装置还包括锁定所述连接杆以阻止所述连接杆运动的锁定件。

在一个优选的实施例中，所述锁定件包括中部铰接在所述槽体上的锁止板和用于驱动所述锁止板转动的锁止驱动件，所述锁止板的内端设置有第一锁止锯齿，所述连接杆上设置有能够与所述第一锁止锯齿卡合的第二锁止锯齿，所述锁止驱动件能够驱动所述锁止板围绕铰接轴转动以使得第一锁止锯齿与第二锁止锯齿卡合和分离。

在一个优选的实施例中，所述锁止驱动件包括锁止拉杆，所述槽体上开设有安装孔，所述锁止拉杆可上下滑动地安装在所述安装孔内，所述锁止拉杆的下端与所述锁止板铰接连接，所述锁止拉杆的上端伸出所述槽体上的安装孔外。