[发明专利]一种纳米压印硬模板的清洗方法在审
申请号: | 202211562943.4 | 申请日: | 2022-12-07 |
公开(公告)号: | CN115770751A | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 徐明金;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光越微纳科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;F26B5/08 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄丽莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 压印 模板 清洗 方法 | ||
1.一种纳米压印硬模板的清洗方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
S1:将纳米压印硬模板浸泡于DHF溶液中;
S2:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的DHF溶液;
S3:利用SPM溶液去除纳米压印硬模板表面的有机物,SPM溶液为硫酸与双氧水的混合溶液;
S4:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SPM溶液;
S5:利用SC1溶液去除纳米压印硬模板表面的金属离子,SC1溶液为氨水、双氧水与水的混合溶液;
S6:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SC1溶液;
S7:利用SRD甩干机对纳米压印硬模板进行干燥处理。
2.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S2、S4、S6分别具体包括以下内容:将纳米压印硬模板放置于纯水槽内后,对其进行以下操作:
(a)向纯水槽内纯水充入气体至纯水鼓泡,纯水槽内纯水从上溢流排出,并持续一定时间;
(b)纯水喷淋后,纯水从纯水槽的排水口排出,并持续一定时间;
(c)纯水喷淋后,纯水槽内纯水从上溢流排出,并持续一定时间;
(d)纯水槽内纯水从上溢流排出,持续一定时间;
其中,操作(a)、(b)、(c)、(d)按序进行或错序进行。
3.根据权利要求2所述的清洗方法,其特征在于,纯水槽内的纯水的温度为25℃~30℃之间。
4.根据权利要求2所述的清洗方法,其特征在于,S2、S4、S6中,操作(a)、(b)、(c)、(d)执行一次或多次。
5.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S3具体包括以下步骤:
S3.1:将纳米压印硬模板放置于SPM溶液槽内;
S3.2:向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间;
S3.3:SPM溶液槽内卡塞定位装置抖动,且向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间;
S3.4:向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间。
6.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S5具体包括以下步骤:
S5.1:将纳米压印硬模板放置于SC1溶液槽内;
S5.2:利用超声使SC1溶液震动,且向SC1溶液槽内SC1溶液充入气体至SC1溶液鼓泡,并持续一定时间。
7.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S7具体包括以下步骤:
S7.1:将纳米压印硬模板放置于SRD甩干机内;
S7.2:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,对纳米压印硬模板进行喷淋冲洗,以600~800转每分钟旋转,并持续一定时间;
S7.3:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,利用喷嘴对纳米压印硬模板进行吹干,以1200-1800转每分钟旋转,并持续一定时间;
S7.4:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,冲入60℃~80℃氮气,利用热氮烘干纳米压印硬模板,以800-1200转每分钟旋转,并持续一定时间。
8.根据权利要求1-7任一项所述的清洗方法,其特征在于,SPM溶液为硫酸与双氧水按照体积比3:1~4:1进行配比,且温度为120℃-130℃的混合溶液。
9.根据权利要求1-7任一项所述的清洗方法,其特征在于,SC1溶液为氨水、双氧水与水按照体积比1:1:5~1:1:6进行配比,且温度为50℃~80℃的混合溶液。
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