[发明专利]一种纳米压印硬模板的清洗方法在审

专利信息
申请号: 202211562943.4 申请日: 2022-12-07
公开(公告)号: CN115770751A 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 徐明金;史晓华 申请(专利权)人: 苏州光越微纳科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;F26B5/08
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 黄丽莉
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 压印 模板 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种纳米压印硬模板的清洗方法,其特征在于,具体包括以下步骤:

S1:将纳米压印硬模板浸泡于DHF溶液中;

S2:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的DHF溶液;

S3:利用SPM溶液去除纳米压印硬模板表面的有机物,SPM溶液为硫酸与双氧水的混合溶液;

S4:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SPM溶液;

S5:利用SC1溶液去除纳米压印硬模板表面的金属离子,SC1溶液为氨水、双氧水与水的混合溶液;

S6:利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SC1溶液;

S7:利用SRD甩干机对纳米压印硬模板进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S2、S4、S6分别具体包括以下内容:将纳米压印硬模板放置于纯水槽内后,对其进行以下操作:

(a)向纯水槽内纯水充入气体至纯水鼓泡,纯水槽内纯水从上溢流排出,并持续一定时间;

(b)纯水喷淋后,纯水从纯水槽的排水口排出,并持续一定时间;

(c)纯水喷淋后,纯水槽内纯水从上溢流排出,并持续一定时间;

(d)纯水槽内纯水从上溢流排出,持续一定时间;

其中,操作(a)、(b)、(c)、(d)按序进行或错序进行。

3.根据权利要求2所述的清洗方法,其特征在于,纯水槽内的纯水的温度为25℃~30℃之间。

4.根据权利要求2所述的清洗方法,其特征在于,S2、S4、S6中,操作(a)、(b)、(c)、(d)执行一次或多次。

5.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S3具体包括以下步骤:

S3.1:将纳米压印硬模板放置于SPM溶液槽内;

S3.2:向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间;

S3.3:SPM溶液槽内卡塞定位装置抖动,且向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间;

S3.4:向SPM溶液槽内SPM溶液充入气体至SPM溶液鼓泡,并持续一定时间。

6.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S5具体包括以下步骤:

S5.1:将纳米压印硬模板放置于SC1溶液槽内;

S5.2:利用超声使SC1溶液震动,且向SC1溶液槽内SC1溶液充入气体至SC1溶液鼓泡,并持续一定时间。

7.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,S7具体包括以下步骤:

S7.1:将纳米压印硬模板放置于SRD甩干机内;

S7.2:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,对纳米压印硬模板进行喷淋冲洗,以600~800转每分钟旋转,并持续一定时间;

S7.3:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,利用喷嘴对纳米压印硬模板进行吹干,以1200-1800转每分钟旋转,并持续一定时间;

S7.4:SRD甩干机内腔体加热至60℃~80℃,冲入60℃~80℃氮气,利用热氮烘干纳米压印硬模板,以800-1200转每分钟旋转,并持续一定时间。

8.根据权利要求1-7任一项所述的清洗方法,其特征在于,SPM溶液为硫酸与双氧水按照体积比3:1~4:1进行配比,且温度为120℃-130℃的混合溶液。

9.根据权利要求1-7任一项所述的清洗方法,其特征在于,SC1溶液为氨水、双氧水与水按照体积比1:1:5~1:1:6进行配比,且温度为50℃~80℃的混合溶液。

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