[发明专利]激光加工连续图形的装置与方法及电子器件蚀刻装置与方法

说明书

本发明公开一种激光加工连续图形的装置与方法及电子器件蚀刻装置与方法，涉及激光加工技术领域。该装置包括控制单元、激光三维扫描单元和反射单元，控制单元控制激光按照第一待加工区域的预设轨迹坐标由激光三维扫描单元出射至第一待加工区域、按照第二待加工区域的预设轨迹坐标由激光三维扫描单元出射后经反射单元反射至第二待加工区域；第一待加工区域的预设轨迹坐标对应第一待加工区域目标图形的空间坐标，第二待加工区域的预设轨迹坐标对应第二待加工区域目标图形通过反射单元成像的空间坐标。加工过程无需变换工件位置，激光扫描精度决定了加工精度，精度得以保证，同时降低了成本，提高了效率。

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及激光加工连续图形的装置与方法。

背景技术

工业应用中，很多时候需要在工件不同表面实现连续图形的加工。通常的做法是先将其中一个面正对激光，在该面上加工连续图形的一段，再将工件翻转一定角度，使第二个面正对激光，在第二个面上加工连续图形的另一段，以此类推，最终通过不同面上图形的拼接形成连续图形。

然而传统的拼接方式对工件定位精度要求很高，采用一般的机械结构对工件进行多次移动定位往往难以实现理想的拼接精度。为了保证精度，机械结构的复杂度会随之增加，因此造成生产成本的增加，尤其对于较大型的工件，其机械结构复杂度及成本的增加更为明显；同时，为了提高精度需要对工件的各个面分别进行位置校正，生产效率因此受到影响。

发明内容

本发明针对现有技术存在之缺失，提供一种激光加工连续图形的装置与方法，以及电子器件蚀刻装置与方法，在保证加工精度的同时能够降低机械结构的复杂度，减少生产成本，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案：

一种激光加工连续图形的装置，包括控制单元、激光三维扫描单元和反射单元，工件具备第一待加工区域和第二待加工区域，激光三维扫描单元与第一待加工区域相对设置，第一待加工区域位于激光三维扫描单元的激光焦点范围内，反射单元设置于第二待加工区域侧旁，第二待加工区域位于所述激光经反射单元反射后的焦点范围内；

所述控制单元控制激光按照第一待加工区域的预设轨迹坐标由所述激光三维扫描单元出射至所述第一待加工区域、按照第二待加工区域的预设轨迹坐标由所述激光三维扫描单元出射后经反射单元反射至所述第二待加工区域；

所述第一待加工区域和第二待加工区域相邻接，所述第一待加工区域的预设轨迹坐标对应第一待加工区域目标图形的空间坐标，所述第二待加工区域的预设轨迹坐标对应第二待加工区域目标图形通过所述反射单元成像的空间坐标，所述第一待加工区域的目标图形和第二待加工区域的目标图形在两区域邻接处连续。

作为一种优选方案，所述工件包括至少两个相邻接的待加工面，所述待加工面包括一主加工面和至少一侧加工面，所述第一待加工区域位于主加工面上，所述第二待加工区域位于侧加工面上；

所述反射单元包括至少一反射镜，各反射镜分别与各侧加工面对应设置，位于各侧加工面侧旁，分别用于反射激光至各反射镜对应的侧加工面上。

作为一种优选方案，所述反射单元还包括位置调节机构，所述位置调节机构包括平移组件或第一旋转组件；

所述平移组件用于带动所述反射镜相对于其所对应的所述侧加工面平移，所述第一旋转组件用于带动所述反射镜相对于其所对应的所述侧加工面旋转；

所述反射镜固定于所述平移组件或所述第一旋转组件上。

作为一种优选方案，所述装置还包括工件定位单元，所述工件定位单元包括工件定位机构、工件姿态调整机构和驱动机构；

所述工件姿态调整机构包括三维平移组件，及设置于所述三维平移组件上的第二旋转组件；

所述工件通过工件定位机构固定于所述第二旋转组件上；