[发明专利]一种氮化铝基板及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化铝基板的制备方法，其特征在于，包括：

获得混合粉体；所述混合粉体包含氮化铝粉和添加剂；所述添加剂含有金属钼粉；所述金属钼粉与所述氮化铝粉的体积之比的比值为3-8％；以及

成型步骤：将所述混合粉体进行预压，获得生坯；在惰性气氛下，对所述生坯进行烧结。

2.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括金属化步骤：

在所述成型步骤中烧结获得的氮化铝陶瓷片的表面，沉积形成活性金属层；再在所述活性金属层的表面电镀铜层；

可选的，所述活性金属层中的活性金属为Ni、NiCr、Ti和TiW中的一种。

3.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，所述成型步骤中，在惰性气氛下，对所述生坯进行热压烧结；热压烧结的温度为1750-1850℃，压力不低于25MPa；

可选的，热压烧结的温度为1750℃，压力为40Mpa。

4.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，在所述成型步骤中，在氮气气氛下，对所述生坯进行烧结。

5.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，所述添加剂含有所述金属钼粉和氧化物烧结助剂；所述添加剂中，所述金属钼粉的质量含量不低于80％；

可选的，所述氧化物烧结助剂为CaO和/或SiO₂；

可选的，所述混合粉体包括与所述氮化铝粉的体积之比的比值为5％-6％的Mo、0.4％-0.6％的CaO和0.2％-0.6％的SiO₂。

6.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，所述混合粉体的制备方法包括：

利用去离子水作为湿磨介质，将所述氮化铝粉和所述添加剂的混合物，以100-200r/min的转速湿磨2-3h，烘干。

7.根据权利要求1所述的氮化铝基板的制备方法，其特征在于，所述混合粉体的粒径为2-80μm。

8.一种氮化铝基板，其特征在于，根据权利要求1-7任一项所述的氮化铝基板的制备方法制得。

9.一种氮化铝基板，其特征在于，所述氮化铝基板包括氮化铝陶瓷板；所述氮化铝陶瓷板的化学成分含有金属钼和氮化铝；所述金属钼与所述氮化铝的体积之比的比值为3-8％；所述氮化铝陶瓷板的热膨胀系数不高于3.4ppm/℃，热传导系数大于150W/mk；

可选的，所述氮化铝陶瓷板的化学成分含有与所述氮化铝的体积之比的比值为5％-6％的Mo、0.4％-0.6％的CaO和0.2％-0.6％的SiO₂。

10.根据权利要求9所述的氮化铝基板，其特征在于，所述氮化铝基板还包括叠层设置于所述氮化铝陶瓷板的表面的活性金属层和铜层；

可选的，所述活性金属层的中的活性金属为Ni、NiCr、Ti和TiW中的一种。