[发明专利]硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法在审
| 申请号： | 202211585988.3 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN115821366A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 虎永慧;芮阳;熊欢;徐慶晧;王黎光;曹启刚;张昆;刘进;蔡瑞;王忠保 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 杜振学 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 轻掺磷 方法 合并 拉制 | ||
1.一种硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：包括以下步骤，
步骤:1：根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；
步骤2：在完成A晶棒拉制后，手动引晶预定直径及长度，在向下给定预定拉速进行放肩；
步骤3：在放肩至预定直径后，以预定拉速引上至副室冷却预定时间后取出；
步骤4：通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。
2.根据权利要求1所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤2中，手动引晶直径10±2mm，长度80±10mm。
3.根据权利要求2所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤2中，向下手动给定拉速0.5±0.2mm/min。
4.根据权利要求1或3所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，放肩直径放至150±5mm。
5.根据权利要求4所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，放肩完成后，直接以150mm/min拉速引上至副室冷却。
6.根据权利要求5所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，副室冷却时间为一小时。
7.一种晶棒合并拉制方法，其特征在于：包括以下步骤，
投料-引晶-放肩-等径-A棒收尾-进行补掺-引晶-放肩-等径-B棒收尾；
其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。
8.一种晶棒转晶向拉制方法，其特征在于：包括以下步骤，
投料-引晶-放肩-等径（多次NG）-更换籽晶-进行补掺-引晶-放肩-等径-收尾；
其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，未经宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211585988.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种履带形状变换可调的牵引机
- 下一篇：一种对酒中甲醇进行快速检测的方法
