[发明专利]硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法

说明书

一种硼和轻掺磷的补掺方法，包括以下步骤，根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；在完成A晶棒拉制后，手动引晶一定直径及长度，在向下给定一定拉速进行放肩；在放肩至一定直径后，以一定拉速引上至副室冷却一定时间后取出；通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。本发明通过上述方法在晶棒合并拉制及转晶向拉制时，对硼和轻掺磷进行补掺，可保证拉制出的晶棒电阻率匹配、合格，从而降低产品不良率。本发明还提供一种晶棒合并拉制方法及一种转晶向拉制方法。

技术领域

本发明涉及单晶硅技术领域，尤其涉及一种硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法。

背景技术

因硼和轻掺磷掺杂时都是在投料时直接放入坩埚内，在拉制过程中未设置专门加掺杂方式，因而当拉制两种尺寸合并或者改晶向时，面临电阻率不匹配问题，导致电阻率不合格报废或者影响交期。

发明内容

为解决上述技术中存在的技术问题，鉴于此，有必要提供一种硼和轻掺磷的补掺方法。

一种硼和轻掺磷的补掺方法，包括以下步骤，

步骤:1：根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；

步骤2：在完成A晶棒拉制后，手动引晶预定直径及长度，在向下给定预定拉速进行放肩；

步骤3：在放肩至预定直径后，以预定拉速引上至副室冷却预定时间后取出；

步骤4：通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。

优选的，在步骤2中，手动引晶直径10±2mm，长度80±10mm。

优选的，在步骤2中，向下手动给定拉速0.5±0.2mm/min。

优选的，在步骤3中，放肩直径放至150±5mm。

优选的，在步骤3中，放肩完成后，直接以150mm/min拉速引上至副室冷却。

优选的，在步骤3中，副室冷却时间为一小时。

还有必要提供一种晶棒合并拉制方法。

一种晶棒合并拉制方法，包括以下步骤，

投料-引晶-放肩-等径-A棒收尾-进行补掺-引晶-放肩-等径-B棒收尾；

其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。

还有必要提供一种晶棒转晶向拉制方法。

一种晶棒转晶向拉制方法，包括以下步骤，

投料-引晶-放肩-等径（多次NG）-更换籽晶-进行补掺-引晶-放肩-等径-收尾；

其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。

由上述技术方案可知，本发明提供的硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法，在晶棒合并拉制及转晶向拉制时，通过对硼和轻掺磷补掺的方式，可保证拉制出的晶棒电阻率匹配、合格，从而降低产品不良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明拉制AB棒时的工艺流程图。

图2为本发明晶向转换拉制工艺流程图。