[发明专利]激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台

权利要求书

1.激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：包括水平的板状运动台(21)和XYZ三方向驱动单元(100)，所述XYZ三方向驱动单元(100)包括同步带(19)，所述同步带(19)内包括三个同步带轮(1)，三所述同步带轮(1)将同步带(19)张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带(19)上端的一段为水平段带体(19.1)，板状运动台(21)水平于所述水平段带体(19.1)上侧，且所述水平段带体(19.1)的上侧中部至少存在一个节点(20)与所述板状运动台(21)底面固定；

三所述同步带轮(1)分别为第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)；第三同步带轮(1.3)在第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)之间的下方；板状运动台(21)横跨在在第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)上，第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)向上刚性支撑水平的所述板状运动台(21)；

第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)中的任意一个的主动转动，使同步带(19)的水平段带体(19.1)带动水平段带体(19.1)做X方向运动；

第三同步带轮(1.3)在X和Z方向均锁定，且同步带(19)在三个同步带轮(1)的约束下始终绷紧成等腰三角形，所述第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)在X方向上做等速的相互远离或相互靠近使水平段带体(19.1)和板状运动台(21)在姿态保持不变的情况下做Z方向运动；

第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)轴心处均沿Y方向活动穿过有一根导向轴；第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)同步沿导向轴方向的滑移，使同步带(19)以及板状运动台(21)做Y方向运动；

沿Y方向分别同轴心活动穿过第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)的所述导向轴均为截面为圆形的圆轴(8)，两所述圆轴(8)分别与所述第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)内同轴心的滑动穿过孔(9)内壁同轴心滑动配合；

沿Y方向同轴心活动穿过第三同步带轮(1.3)的所述导向轴均为截面为六边形的六角轴(16)，所述六角轴(16)与所述第三同步带轮(1.3)内同轴心的内六角滑孔(15)内壁滑动配合；还包括固定设置的a伺服电机(17)，所述a伺服电机(17)驱动连接所述六角轴(16)；

还包括沿X方向丝杆传动杆(25)，丝杆传动杆(25)随升降梁(31)同步升降，b伺服电机(24)驱动连接所述丝杆传动杆(25)；丝杆传动杆(25)包括第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)，第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)的螺纹旋向相反；第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)外分别传动配合有两丝杆螺母(6)，两所述丝杆螺母(6)分别固定连接两所述圆轴(8)一端，所述丝杆传动杆(25)的旋转使两丝杆螺母(6)做相互靠近或相互远离的运动。

2.根据权利要求1所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：还包括向上弹性顶压升降梁(31)的a弹簧件(32)，在a弹簧件(32)的向上弹性顶压的作用下，第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)始终有向上运动的趋势，使同步带(19)始终呈绷紧状。

3.根据权利要求2所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：还包括三个Y方向电动伸缩器(4)，三个所述Y方向电动伸缩器(4)的同步推进和缩回使三个同步带轮(1)做Y方向的运动。

4.根据权利要求3所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台的工作方法，其特征在于：

板状运动台(21)的XYZ三方向微调方法：

X方向微调：驱动a伺服电机(17)；

Z方向微调：驱动b伺服电机(24)

Y方向微调：同步驱动三个Y方向电动伸缩器(4)。