[发明专利]激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台

说明书

本发明公开了一种激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，包括水平的板状运动台和XYZ三方向驱动单元，XYZ三方向驱动单元包括同步带，同步带内包括三个同步带轮，三个同步带轮将同步带张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带上端的一段为水平段带体，板状运动台水平于所述水平段带体上侧，且水平段带体的上侧中部至少存在一个节点与所述板状运动台底面固定；本发明将板状运动台的XYZ三方向的位置微调结构高度集成化，实现空间节约的目的。

技术领域

本发明属于运动台领域。

背景技术

激光辅助MicroLED巨量转移系统中，如现有专利介绍的CN202110819686.7一种激光辅助原位巨量转移方法及系统中，需要利用“运动台”实现XYZ三个方向的微调，使目标基板上的MicroLED芯片的位置与临时转移结构上的待转移MicroLED芯片位置对准；

上述专利的技术方案中并未对“运动台”的驱动结构进行详细介绍，传统的做法中，如果现有“运动台”实现XYZ三个方向的微调，至少需要X方向的位置调节装置、Y方向位置调节装置和Z方向位置调节装置三套独立的运动系统进行组装协调才能实现，从而造成占用空间偏大的问题，尤其存在横向XY空间占用过大的问题。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，将板状运动台的XYZ三方向的位置微调结构高度集成化，实现空间节约的目的。

技术方案：为实现上述目的，本发明的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，包括水平的板状运动台和XYZ三方向驱动单元，XYZ三方向驱动单元包括同步带，同步带内包括三个同步带轮，三同步带轮将同步带张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带上端的一段为水平段带体，板状运动台水平于水平段带体上侧，且水平段带体的上侧中部至少存在一个节点与板状运动台底面固定。

进一步的，三同步带轮分别为第一同步带轮、第二同步带轮和第三同步带轮；第三同步带轮在第一同步带轮与第二同步带轮之间的下方；板状运动台横跨在在第一同步带轮与第二同步带轮上，第一同步带轮与第二同步带轮向上刚性支撑水平的板状运动台。

进一步的，第一同步带轮、第二同步带轮和第三同步带轮中的任意一个的主动转动，使同步带的水平段带体带动水平段带体做X方向运动；

第三同步带轮在X和Z方向均锁定，且同步带在三个同步带轮的约束下始终绷紧成等腰三角形，第一同步带轮和第二同步带轮在X方向上做等速的相互远离或相互靠近使水平段带体和板状运动台在姿态保持不变的情况下做Z方向运动；

第一同步带轮、第二同步带轮和第三同步带轮轴心处均沿Y方向活动穿过有一根导向轴；第一同步带轮、第二同步带轮和第三同步带轮同步沿导向轴方向的滑移，使同步带以及板状运动台做Y方向运动。

进一步的，沿Y方向分别同轴心活动穿过第一同步带轮和第二同步带轮的导向轴均为截面为圆形的圆轴，两圆轴分别与第一同步带轮和第二同步带轮内同轴心的滑动穿过孔内壁同轴心滑动配合；

沿Y方向同轴心活动穿过第三同步带轮的导向轴均为截面为六边形的六角轴，六角轴与第三同步带轮内同轴心的内六角滑孔内壁滑动配合；还包括固定设置的a伺服电机，a伺服电机驱动连接六角轴。

进一步的，还包括沿X方向丝杆传动杆，丝杆传动杆随升降梁同步升降，b伺服电机驱动连接丝杆传动杆；丝杆传动杆包括第一外螺纹段和第二外螺纹段，第一外螺纹段和第二外螺纹段的螺纹旋向相反；第一外螺纹段和第二外螺纹段外分别传动配合有两丝杆螺母，两丝杆螺母分别固定连接两圆轴一端，丝杆传动杆的旋转使两丝杆螺母做相互靠近或相互远离的运动。

进一步的，还包括向上弹性顶压升降梁的a弹簧件，在a弹簧件的向上弹性顶压的作用下，第一同步带轮和第二同步带轮始终有向上运动的趋势，使同步带始终呈绷紧状。