[发明专利]晶棒分离装置、系统及方法

权利要求书

1.一种晶棒分离装置，其特征在于，包括：

中转台、缓存区以及可移动夹爪；

所述中转台用于承载载具或者承载装载有晶棒的载具；

所述缓存区临近设置于所述中转台的一侧；

所述可移动夹爪设置于所述中转台沿竖直方向的上方，并可移动至所述缓存区，用于将所述晶棒与所述载具分离。

2.根据权利要求1所述的晶棒分离装置，其特征在于，所述缓存区包括多个暂存台，用于承载与所述载具分离后的晶棒。

3.根据权利要求1所述的晶棒分离装置，其特征在于，还包括：

进料台以及出料台；

所述进料台设置于所述中转台远离所述缓存区的一侧；

所述出料台用于承载经过与所述晶棒分离的载具。

4.根据权利要求3所述的晶棒分离装置，其特征在于，所述中转台为可旋转中转台，所述可旋转中转台还用于转运所述载具。

5.根据权利要求3所述的晶棒分离装置，其特征在于，还包括：

自动导引运输车以及堆料机；

所述自动导引运输车包括设置于所述进料台的第一自动导引运输车以及设置于所述出料台的第二自动导引运输车，所述第一自动导引运输车用于将装载有晶棒的载具从所述堆料机转运至所述进料台，所述第二自动导引运输车用于将所述出料台上的载具转运至所述堆料机。

6.一种晶棒分离系统，其特征在于，包括：制造执行单元、设备自动化管理单元、物料管理单元以及如权利要求1至5任一项所述的晶棒分离装置；

所述制造执行单元与所述设备自动化管理单元以及所述物料管理单元连接，用于采集所述晶棒分离系统的运行数据；

所述设备自动化管理单元与所述晶棒分离装置连接，用于转运装载有所述晶棒的载具；

所述物料管理单元与所述晶棒分离装置连接，用于转运装载有所述晶棒的载具，和/或，转运与所述晶棒分离后的所述载具。

7.一种晶棒分离方法，应用于如权利要求6所述的晶棒分离系统，其特征在于，包括：

在检测到所述中转台上存在装载有晶棒的载具后，向所述晶棒分离装置的夹爪发送分离指令；

所述夹爪根据所述分离指令将所述晶棒与所述载具分离，并将所述晶棒夹取至所述晶棒分离装置的缓存区。

8.根据权利要求7所述的晶棒分离方法，其特征在于，在所述夹爪将所述晶棒与所述载具分离之前，还包括：

在所述缓存区检测到没有承载晶棒的情况下，向所述设备自动化管理单元或者所述物料管理单元发送进料指令；

所述设备自动化管理单元或者所述物料管理单元向所述晶棒分离装置发送第一转运指令；

所述晶棒分离装置根据所述第一转运指令，对装载有晶棒的载具进行转运。

9.根据权利要求7所述的晶棒分离方法，其特征在于，在所述夹爪将所述晶棒与所述载具分离之后，还包括：

在检测到所述晶棒从所述载具上分离的情况下，向所述中转台发送第二转运指令；

所述中转台根据所述第二转运指令进行旋转，并将所述载具转运至所述晶棒分离装置的出料台；

在所述载具放置于所述出料台后，向所述物料管理单元发送出料指令；

所述物料管理单元根据所述出料指令，向所述晶棒分离装置的第二自动导引运输车发送出料指令；

所述第二自动导引运输车根据所述出料指令，将所述载具转运至所述晶棒分离装置的堆料机。