[发明专利]晶棒分离装置、系统及方法

说明书

本发明提供了一种晶棒分离装置、系统及方法，涉及硅片管理技术领域。该晶棒分离装置包括：中转台、缓存区以及可移动夹爪；所述中转台用于承载载具或者承载装载有晶棒的载具；所述缓存区临近设置于所述中转台的一侧；所述可移动夹爪设置于所述中转台沿竖直方向的上方，并可移动至所述缓存区，用于将所述晶棒与所述载具分离。本发明实施例的方案，通过所述中转台对晶棒和载具分离之前提供中转的承载空间；通过所述可移动夹爪将所述晶棒从所述载具上分离，并夹取到所述缓存区对分离后的晶棒进行存放。本发明实施例的晶棒分离装置，降低了人工参与度，能够自动将晶棒与承载所述晶棒的载具进行分离，提高了晶棒分离效率，保证了晶棒分离的安全性。

技术领域

本发明涉及硅片管理技术领域，特别涉及一种晶棒分离装置、系统及方法。

背景技术

晶棒在经过切段的工序后，被放置于特定的托盘中，在进入下一道工序之前，需要将晶棒从托盘中脱离，在经过手推车将晶棒投入安装设备。现有的方法是通过人为手动夹取将晶棒从托盘转移到手推车上，晶棒与托盘的分离效率低且存在安全风险。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种晶棒分离装置、系统及方法，能够自动将晶棒与承载所述晶棒的载具进行分离，提高了晶棒分离效率，保证了晶棒分离的安全性。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

本发明实施例提供了一种晶棒分离装置，包括：

中转台、缓存区以及可移动夹爪；

所述中转台用于承载载具或者承载装载有晶棒的载具；

所述缓存区临近设置于所述中转台的一侧；

所述可移动夹爪设置于所述中转台沿竖直方向的上方，并可移动至所述缓存区，用于将所述晶棒与所述载具分离。

进一步地，所述缓存区包括多个暂存台，用于承载与所述载具分离后的晶棒。

进一步地，所述晶棒分离装置，还包括：

进料台以及出料台；

所述进料台设置于所述中转台远离所述缓存区的一侧；

所述出料台用于承载经过与所述晶棒分离的载具。

进一步地，所述中转台为可旋转中转台，所述可旋转中转台还用于转运所述载具。

进一步地，所述晶棒分离装置，还包括：

自动导引运输车以及堆料机；

所述自动导引运输车包括设置于所述进料台的第一自动导引运输车以及设置于所述出料台的第二自动导引运输车，所述第一自动导引运输车用于将装载有晶棒的载具从所述堆料机转运至所述进料台，所述第二自动导引运输车用于将所述出料台上的载具转运至所述堆料机。

本发明实施例还提供了一种晶棒分离系统，包括：制造执行单元、设备自动化管理单元、物料管理单元以及如上所述的晶棒分离装置；

所述制造执行单元与所述设备自动化管理单元以及所述物料管理单元连接，用于采集所述晶棒分离系统的运行数据；

所述设备自动化管理单元与所述晶棒分离装置连接，用于转运装载有所述晶棒的载具；

所述物料管理单元与所述晶棒分离装置连接，用于转运装载有所述晶棒的载具，和/或，转运与所述晶棒分离后的所述载具。

本发明实施例还提供了一种晶棒分离方法，应用于如上所述的晶棒分离系统，包括：

在检测到所述中转台上存在装载有晶棒的载具后，向所述晶棒分离装置的夹爪发送分离指令；