[发明专利]光刻胶剥离液

权利要求书

1.一种光刻胶剥离液，其特征在于，包括：

膨胀剂、渗透剂、溶解剂、pH抑制剂以及腐蚀抑制剂；

其中，所述膨胀剂的质量百分比含量为30％-60％，所述溶解剂的质量百分比含量为40％-60％，所述渗透剂的质量百分比含量为0.5％-8％，所述pH抑制剂的质量百分比含量为0.01％-2％，所述腐蚀抑制剂的质量百分比含量为0.001％-2％。

2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述膨胀剂为非质子极性溶剂。

3.根据权利要求2所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述非质子极性溶剂包括：吡咯烷酮化合物、咪唑啉酮化合物，内酯化合物、硫氧化合物，含磷化合物，碳酸盐化合物、酰胺化合物中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述吡咯烷酮化合物包括：N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮中的至少一种；

所述咪唑啉酮化合物包括：1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、1,3-二甲基咪唑啉酮中的至少一种；

所述内酯化合物包括：γ-丁内酯；

所述硫氧化合物包括：二甲基亚砜、四氢噻吩-1,1-二氧化物中的至少一种；

所述含磷化合物包括：磷酸三乙酯、磷酸三丁酯中的至少一种，所述碳酸盐化合物包括碳酸二甲酯、碳酸亚乙酯中的至少一种；

所述酰胺化合物包括：甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰基乙酰胺、N-乙酰乙醇胺、N,N-二甲基乙酰胺、3-甲氧基-N、N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己氧基)丙胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述渗透剂包括胺类化合物，其中，所述胺类化合物包括：单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单丙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲胺基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁胺、甲乙基二醇胺、羟乙基二乙胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、二甲基羟胺、二乙基羟胺、二溴羟胺、1-(2-羟乙基)哌嗪、1-(3-羟乙基)甲基哌嗪、N-(2-羟甲基)吗啉、N-(3-羟丙基)吗啉，庚胺、己胺、戊胺、辛胺中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述溶解剂包括水溶性有机溶剂，其中，所述水溶性有机溶剂包括醚类化合物。

7.根据权利要求6所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述醚类化合物包括：乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙甘醇单异丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇丁醚、二甘醇单甲醚，二甘醇一乙醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙基二醇单丁醚、三甘醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙基二醇单异丙醚、三乙二醇单丁醚、聚乙二醇单甲醚、聚丙二醇单乙醚、聚乙二醇单异丙醚、聚乙基二醇单丁醚、丙二醇单甲乙醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲醚、丙丙二醇单甲酯乙酸酯中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述pH抑制剂包括含有一个以上羧基且不含氮元素的有机酸。

9.根据权利要求8所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述光刻胶剥离液的pH值为8-10，且所述pH抑制剂包括乙酸、苹果酸、甲酸、丁酸、柠檬酸、乙醇酸、蓚酸、丙二酸、戊酸、丙酸、果酸、葡萄糖酸、丁二酸中的一种或几种。

10.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述腐蚀抑制剂包括唑类化合物，其中，所述唑类化合物包括苯并三唑、甲苯三唑、甲基甲苯三唑，2,2'-[[[苯并三唑]甲基]亚氨基]二乙醇，2,2'-[[[甲基-1H-苯并三嗪-1-H]甲基]亚氨基]二甲醇，2,2”-[[[[甲基-1-H-苯三唑-1-甲基]亚氨基]亚氨基]]二乙醇2,2'-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-1]甲基]亚氨基]双甲胺，2,2'-[[胺-H-苯并三嗪-1-甲基]亚氨基]二乙醇中的一种或几种。