[发明专利]用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统

权利要求书

1.一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述系统包括：

特征图像获取模块，用于获得MiniLED晶圆局部表面图像的边缘二值图；将所述边缘二值图转换至霍夫空间中，获得霍夫空间二值图像；

第一筛选模块，用于根据所述霍夫空间的横轴上预设周期步长遍历整个所述霍夫空间二值图像，获得至少两组列像素点序列对；根据每组所述列像素点序列对中两条列像素点序列的亮度信息量获得第一优选度，以最大第一优选度对应的所述列像素点序列对作为最优列像素点序列对；

第二筛选模块，用于根据每条最优列像素点序列中的像素值极大值将对应的所述最优列像素点序列分为至少两个子序列；根据每个所述子序列的出现频数和对应的所述像素值极大值获得第二优选度；以最大第二优选度对应的所述子序列所关联的所述像素值极大值对应像素点作为霍夫空间中的分割点；

目标图像分割模块，用于根据所述分割点在所述边缘二值图中对应的直线信息对MiniLED晶圆局部表面图像进行分割，获得至少两个晶粒图像；

检测模块，用于对每个所述晶粒图像进行检测，获得缺陷晶圆信息。

2.根据权利要求1所述的一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述根据每组所述列像素点序列对中的亮度信息量获得第一优选度包括：

以每组所述列像素点序列对中每条列像素点序列中像素值非零的像素点的像素值均值作为每条所述列像素点序列的所述亮度信息量，以两条所述列像素点序列的亮度信息量均值作为所述第一优选度。

3.根据权利要求1所述的一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述根据每条最优列像素点序列中的像素值极大值将对应的所述最优列像素点序列分为多个子序列包括：

若每条所述最优列像素点序列中目标元素大于相邻的其他元素，则认为所述目标元素为像素值极大值元素；以所有所述像素值极大值元素、所述最优列像素点序列的初始元素和终止元素作为分割点对所述最优列像素点序列进行分割，获得多个所述子序列；每个所述子序列对应两个分割点。

4.根据权利要求3所述的一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述根据每个所述子序列的出现频数和对应的所述像素值极大值获得第二优选度包括：

以每个所述子序列关联的两个所述分割点的像素值平均值作为关联特征；以相同的所述子序列作为同种子序列，统计每种所述子序列的所述出现频数，根据所述出现频数将同种的所述子序列的所述关联特征累加，获得所述第二优选度。

5.根据权利要求1所述的一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述获得MiniLED晶圆局部表面图像的边缘二值图包括：

利用canny算子提取所述MiniLED晶圆局部表面图像中的边缘信息，获得所述边缘二值图。

6.根据权利要求1所述的一种用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统，其特征在于，所述霍夫空间的横轴为图像坐标系下直线与横轴的角度；所述霍夫空间的纵轴为图像坐标系下原点到直线的距离。