[发明专利]热场组件、单晶炉、漏液检测装置及其方法

权利要求书

1.一种热场组件，其特征在于，包括：

底加热器，所述底加热器包括相背设置的顶面和底面，所述底加热器上设有贯穿所述顶面和所述底面的第一螺栓孔；

呈托盘状的底部盖板，所述底部盖板包括相背的顶盘面和底盘面，所述底加热器设置于所述顶盘面且所述底面直接接触所述顶盘面，所述底部盖板采用绝缘且耐高温材料制成，所述底部盖板上设有与所述第一螺栓孔对应的第二螺栓孔；及

底电极，所述底电极位于所述底盘面背离所述顶盘面的一侧，且所述底电极通过穿设于所述第一螺栓孔和所述第二螺栓孔内的紧固螺栓直接连接至所述底加热器上。

2.根据权利要求1所述的热场组件，其特征在于，

所述底部盖板的材质为耐高温陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的热场组件，其特征在于，

所述底部盖板中心还设有贯穿所述顶盘面与所述底盘面的通孔。

4.根据权利要求3所述的热场组件，其特征在于，

所述底加热器围绕在所述通孔的外围。

5.一种漏液检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至4任一项所述的热场组件，所述底加热器、所述底部盖板和所述底电极分别位于单晶炉内坩埚下方；

电学检测器，与所述底加热器连接，用于实时检测所述底加热器的电学参数；

处理器，与所述电学检测器连接，用于根据来自所述电学检测器实时反馈的所述电学参数，实时判断所述底加热器上是否存在从所述坩埚泄露的漏液；

报警器，与所述处理器连接，用于当实时判断结果为所述底加热器上存在漏液时进行报警。

6.根据权利要求5所述的漏液检测装置，其特征在于，

所述电学参数包括所述底加热器的电阻值；

所述处理器用于接收所述电学检测器所反馈的所述底部加热器的实时电阻值，并根据预定时间内所反馈的所述实时电阻值的数值变化，判断所述底加热器上是否存在从所述坩埚泄露的漏液。

7.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括：

炉体；

设置于所述炉体内的坩埚；及

设置于所述炉体内的如权利要求5或6所述的漏液检测装置。

8.一种漏液检测方法，其特征在于，应用于如权利要求5或6任一项所述的漏液检测装置，所述方法包括如下步骤：

通过所述电学检测器实时检测所述底加热器的电学参数；

通过所述处理器接收来自所述电学检测器实时反馈的所述电学参数，并实时判断所述底加热器上是否存在从所述坩埚泄露的漏液。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述电学参数包括所述底加热器的电阻值时，所述通过所述处理器接收来自所述电学检测器实时反馈的所述电学参数，并实时判断所述底加热器上是否存在从所述坩埚泄露的漏液，具体包括：

通过所述处理器接收所述电学检测器所反馈的所述底部加热器的实时电阻值，并根据预定时间内所反馈的所述实时电阻值的数值变化，判断所述底加热器上是否存在从所述坩埚泄露的漏液。