[发明专利]SEM图像质量评价方法

权利要求书

1.一种SEM图像质量评价方法，其特征在于，包括：

S1、获取第一SEM图像，对所述第一SEM图像进行傅里叶变换；

S2、根据所述第一SEM图像进行傅里叶变换的结果，获取所述第一SEM图像所对应的频谱图和相位图；

S3、根据所述频谱图中的亮点的幅值，获取第一评分，所述第一评分为所述第一SEM图像的大尺度特征的评分；

S4、根据所述相位图重建SEM图像，以获取第二SEM图像；

S5、根据所述第二SEM图像的边缘信息，获取第二评分，所述第二评分为所述第一SEM图像的小尺度特征的评分；

S6、根据所述第一评分和所述第二评分，获取所述第一SEM图像的质量评价分数。

2.根据权利要求1所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S3中，包括：

在所述频谱图中筛选满足预设条件的部分亮点，根据所述满足预设条件的部分亮点的幅值获取所述第一评分。

3.根据权利要求2所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S3中，包括：

在所述频谱图中筛选高亮点，所述高亮点为所述频谱图中幅值最大的部分亮点，根据所述高亮点的幅值获取所述第一评分。

4.根据权利要求3所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S3中，包括：

在所述频谱图中筛选出幅值最大且数量为预设数量的高亮点，组成点集L；

对筛选出的所述高亮点的幅值求均值，得到所述第一评分。

5.根据权利要求3所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S3中，包括：

当存在A张所述第一SEM图像时，在其中一张第一SEM图像所对应的所述频谱图中筛选出幅值最大且数量为预设数量的高亮点，组成点集L1，所述A为大于1的整数；A张所述第一SEM图像为用于评价同一场景且清晰程度不同的SEM图像；

将所述点集L1中的最低幅值T₁作为阈值，在A张所述第一SEM图像中的其余图像所对应的频谱图中分别筛选出幅值大于所述阈值T₁的高亮点，组成A张所述第一SEM图像中的第i张图像所对应的点集Li，1＜i≤A；

对A张所述第一SEM图像中的第i张图像所对应的点集Li中的高亮点的幅值求均值，得到所述第一SEM图像中的第i张图像所对应的所述第一评分。

6.根据权利要求4或5所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S3中，包括：所述预设数量为或/p为预设的数值且使得/或使得M×N为第一SEM图像的大小。

7.根据权利要求6所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，p∈(0,0.5)。

8.根据权利要求1所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S5中，包括：对所述第二SEM图像的边缘信息进行提取，以得到边缘点的灰度值分布函数；

计算所述边缘点的灰度值的平均值的相反数，获取第二评分。

9.根据权利要求8所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，通过公式计算所述边缘点的灰度值的平均值的相反数，M×N为第一SEM图像的大小，E为所述灰度值分布函数。

10.根据权利要求1所述的SEM图像质量评价方法，其特征在于，在S4中，包括：对所述相位图进行傅里叶逆变换以重建SEM图像；

在S6中，包括：对所述第一评分和所述第二评分进行加权以获得加权评分，将所述加权评分作为所述第一SEM图像的质量评价分数S。