[发明专利]SEM图像质量评价方法

说明书

本发明提供了一种SEM图像质量评价方法，所述SEM图像质量评价方法，包括：获取第一SEM图像，对所述第一SEM图像进行傅里叶变换；根据第一SEM图像进行傅里叶变换的结果，获取第一SEM图像所对应的频谱图和相位图；根据频谱图中的亮点的幅值，获取第一评分；根据相位图重建SEM图像，以获取第二SEM图像；根据第二SEM图像的边缘信息，获取第二评分；根据第一评分和第二评分，获取第一SEM图像的质量评价分数。本发明能够实现无需去除图像噪声，就可得到准确的SEM图像质量的评价结果。

技术领域

本发明涉及图像处理技术领域，尤其涉及一种SEM图像质量评价方法。

背景技术

在集成电路检测领域中，为了获得质量更高的扫描电子显微镜(ScanningElectron Microscope，SEM)图像，需要自动的评价获取图像的质量来辅助调节仪器参数。由于SEM图像噪声大，且在去除噪声的同时会模糊SEM图像的其它部分的信息，比如边缘信息，导致难以区分质量相似的图像。此外，在评价同一场景的一组图像时，由于SEM图像是在运动中获取的，图像之间会有一些位移或旋转。如果仅使用图像中物体的边缘来评价图像的质量，由于图像中包含的边缘的差异，图像质量评价结果不准确。

因此，有必要提出了一种SEM图像质量评价方法。

发明内容

本发明提供了一种SEM图像质量评价方法，以解决现有技术中由于SEM图像噪声大，且在去除噪声的同时会模糊SEM图像的其它部分的信息，导致难以区分质量相似的图像，以及图像质量评价结果不准确的技术问题。

第一方面，本发明实施例提供一种SEM图像质量评价方法，包括：S1、获取第一SEM图像，对所述第一SEM图像进行傅里叶变换；S2、根据所述第一SEM图像进行傅里叶变换的结果，获取所述第一SEM图像所对应的频谱图和相位图；S3、根据所述频谱图中的亮点的幅值，获取第一评分，所述第一评分为所述第一SEM图像的大尺度特征的评分；S4、根据所述相位图重建SEM图像，以获取第二SEM图像；S5、根据所述第二SEM图像的边缘信息，获取第二评分，所述第二评分为所述第一SEM图像的小尺度特征的评分；S6、根据所述第一评分和所述第二评分，获取所述第一SEM图像的质量评价分数。

其有益效果在于：本发明实施例所提供的SEM图像质量评价方法，通过同时结合大尺度特征、小尺度特征的丰富程度，得到SEM图像的质量评价分数，大尺度特征用于描述SEM图像的主要内容，小尺度特征用于描述SEM图像的物体边缘信息，结合两者后所得到的SEM图像的质量评价分数，对SEM图像的位移和旋转的容忍度更强。能够实现无需去除图像噪声，就可得到准确的SEM图像质量的评价结果。综上，本发明实施例可以解决由于SEM图像噪声大，所导致的图像质量评价困难的问题，以及解决因仅使用图像中物体的边缘来评价图像的质量而导致图像质量评价结果不准确的问题。

可选地，在S3中，包括：在所述频谱图中筛选满足预设条件的部分亮点，根据所述满足预设条件的部分亮点的幅值获取所述第一评分。其有益效果在于：所述第一评分仅需要根据满足预设条件的部分亮点的幅值获得，在保证第一评分获取的准确度的前提下，计算量小。

可选地，在S3中，包括：在所述频谱图中筛选高亮点，所述高亮点为所述频谱图中幅值最大的部分亮点，根据所述高亮点的幅值获取所述第一评分。其有益效果在于：高亮点更能体现频谱图中的低频信号，能更好反映图像中的大尺度特征，使得质量评价分数更准确。

可选地，在S3中，包括：在所述频谱图中筛选出幅值最大且数量为预设数量的高亮点，组成点集L；对筛选出的所述高亮点的幅值求均值，得到所述第一评分。