[发明专利]搬送装置及成膜装置

权利要求书

1.一种搬送装置，所述搬送装置对搬送体进行搬送，其特征在于，具备：

多个搬送辊，所述多个搬送辊对搬送体进行搬送；

驱动机构，所述驱动机构对所述多个搬送辊进行驱动；

旋转台，所述旋转台设有所述多个搬送辊和所述驱动机构；及

转动机构，所述转动机构使所述旋转台转动，以切换所述多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和所述多个搬送辊沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列的状态，

所述驱动机构配置于在所述旋转台设置的大气箱的内部。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

在转动开始之后，所述旋转台的旋转速度按照加速阶段、定速阶段、减速阶段的顺序被进行控制。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，

在所述旋转台未载置所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度比在所述旋转台载置有所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度慢。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送装置配置在腔室的内部，

所述搬送装置还具有在所述腔室的顶面配置的多个拍摄机构。

5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送装置还具有控制机构，该控制机构基于通过所述拍摄机构拍摄到的图像，对通过所述转动机构转动了所述旋转台之后的所述搬送体的位置偏离进行控制。

6.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，

在所述腔室的内部设有以所述多个搬送辊成为沿着所述第一方向排列的状态时和成为沿着所述第二方向排列的状态时的至少任一者时配置于所述多个搬送辊的延长线上的方式被固定的辊。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送体是保持基板的基板载架与对所述基板进行成膜时使用的掩模的层叠体。

8.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送装置还具备保持所述基板载架而使所述基板载架从所述掩模分离的基板载架保持机构。

9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

所述多个搬送辊搬送所述掩模，

所述搬送装置还具备第二搬送辊，该第二搬送辊对通过所述基板载架保持机构从所述掩模分离的所述基板载架进行搬送。

10.根据权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，

所述第二搬送辊能够沿着该第二搬送辊的旋转轴的方向变更位置。

11.根据权利要求9或10所述的搬送装置，其特征在于，

所述第二搬送辊配置在与所述多个搬送辊不同的高度。

12.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，

所述转动机构在所述基板载架从所述掩模分离之后，在将所述掩模载置于所述多个搬送辊的状态下，转动所述旋转台。

13.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，

所述转动机构在将所述基板载架与所述掩模的层叠体载置于所述多个搬送辊的状态下，转动所述旋转台。

14.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送装置还具备与所述旋转台连结的中空的轴，

与所述驱动机构连接的线缆插通于所述中空的轴。