[发明专利]搬送装置及成膜装置

说明书

本发明提供一种在串联式的成膜装置中使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。使用对搬送体进行搬送的搬送装置，其具备对搬送体进行搬送的多个搬送辊、对多个搬送辊进行驱动的驱动机构、设有多个搬送辊和驱动机构的旋转台、以及使旋转台转动以便切换多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和多个搬送辊沿着与第一方向交叉的第二方向排列的状态的转动机构，驱动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。

技术领域

本发明涉及搬送装置及使用了该搬送装置的成膜装置。

背景技术

使用有机EL显示装置、液晶显示装置等平板显示装置。例如有机EL显示装置包含多层结构的有机EL元件，该多层结构的有机EL元件在两个面对的电极之间形成有功能层，该功能层具有引起发光的有机物层即发光层。有机EL元件的功能层、电极层在成膜装置的腔室内，通过使成膜材料经由掩模附着于玻璃等基板而形成。作为成膜装置的一例，存在串联式的成膜装置。串联式的成膜装置是将多个腔室自始至终为真空地连结，基板在腔室间一边移动一边被成膜的装置。通过在串联式的成膜装置设置多个成膜腔室，能够在基板上依次进行成膜，制作多层结构的有机EL元件。

在专利文献1(日本特开2020-094263号公报)中，公开了具有串联式的结构的成膜装置。专利文献1的装置通过搬送辊来搬送掩模、基板载架等搬送体。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2020-094263号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

然而，在专利文献1中，未公开在搬送路径中发生搬送体的方向转换的情况下如何使搬送体移动的具体例。

本发明鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种在串联式的成膜装置使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。

【用于解决课题的方案】

本发明采用以下的结构。即，

一种搬送装置，所述搬送装置对搬送体进行搬送，其特征在于，具备：

多个搬送辊，所述多个搬送辊对搬送体进行搬送；

驱动机构，所述驱动机构对所述多个搬送辊进行驱动；

旋转台，所述旋转台设有所述多个搬送辊和所述驱动机构；及

转动机构，所述转动机构使所述旋转台转动，以切换所述多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和所述多个搬送辊沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列的状态，

所述驱动机构配置于在所述旋转台设置的大气箱的内部。

本发明还采用以下的结构。即，

一种成膜装置，所述成膜装置具备搬送装置和成膜源，该搬送装置对保持基板的基板载架和掩模进行搬送，该成膜源经由所述掩模对所述基板进行成膜，所述成膜装置通过所述搬送装置在多个腔室的内部搬送所述基板载架及所述掩模，其特征在于，

所述多个腔室包括第一旋转室和第二旋转室，该第一旋转室将载置有向第一方向搬入的所述基板载架的所述掩模向第一旋转方向旋转而搬出，该第二旋转室将载置有从所述第一旋转室搬出的所述基板载架的所述掩模向与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转而向与所述第一方向不同的第二方向搬出。

【发明效果】

根据本发明，能够提供一种在串联式的成膜装置使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。

附图说明

图1是表示成膜装置的结构的示意性的俯视图。