[发明专利]固晶设备及固晶方法在审
申请号: | 202211639852.6 | 申请日: | 2022-12-20 |
公开(公告)号: | CN116169053A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 曲东升;李长峰;郜福亮;史晔鑫;姜王敏;王晓春;胡君君;彭方方;苗虎 | 申请(专利权)人: | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68;H01L21/60 |
代理公司: | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人: | 赵旭 |
地址: | 213100 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 设备 方法 | ||
1.一种固晶设备,其特征在于,包括:
引线框架输送装置(50),所述引线框架输送装置(50)上沿x向输送有引线框架;
上料装置(10),所述上料装置(10)位于所述引线框架输送装置(50)的一端,所述上料装置(10)用于将所述引线框架接驳至所述引线框架输送装置(50);
点胶装置(01),所述点胶装置(01)位于所述引线框架输送装置(50)的上方,用于对引线框架进行点胶;
芯片供给装置(30),所述芯片供给装置(30)位于所述引线框架输送装置(50)的侧面,所述芯片供给装置(30)用于对晶圆进行输送和扩晶,并将晶圆上的芯片顶起;
贴装装置(70),所述贴装装置(70)在所述引线框架输送装置(50)与所述芯片供给装置(30)之间活动,以将芯片抓取并贴装在引线框架上;
下料装置(20),所述下料装置(20)位于所述引线框架输送装置(50)的另一端,所述下料装置(20)用于将所述引线框架接驳出所述引线框架输送装置(50)。
2.根据权利要求1所述的固晶设备,其特征在于,所述引线框架输送装置(50)包括:
底座(501),所述底座(501)安装在平台(40)上;
输送轨道(502),所述输送轨道(502)安装在所述底座(501)上,所述输送轨道(502)上设有点胶区域(510)、贴装区域(520)和出料区域(550),所述点胶区域(510)设有第一吸附组件(51),所述贴装区域(520)设有第二吸附组件(52)和加热组件,引线框架从所述出料区域(550)移出输送轨道(502);
驱动组件(53),所述驱动组件(53)安装在所述输送轨道(502)上;
夹爪组件(54),所述夹爪组件(54)安装在所述输送轨道(502)的一侧,所述夹爪组件(54)对引线框架进行夹取,所述夹爪组件(54)与驱动组件(53)传动连接,以通过驱动组件(53)带动夹爪组件(54)沿输送轨道(502)的方向移动。
3.根据权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述上料装置(10)包括:
柜体;
Y向移动机构(11),所述Y向移动机构(11)安装在柜体内;
Z向移动机构(12),所述Z向移动机构(12)安装在Y向移动机构(11)上,所述Y向移动机构(11)能够带动Z向移动机构(12)沿Y向移动;
所述上料装置(10)具有两种上料模式,分别为第一种上料模式和第二种上料模式,当引线框架堆叠在料盒中时使用第一种上料模式,当层叠的且上下相邻的引线框架之间具有离型层时使用第二种上料模式;
在第一种上料模式下,所述Z向移动机构(12)上安装有夹取组件(13),所述Z向移动机构(12)带动所述夹取组件(13)沿Z向运动,所述夹取组件(13)对料盒进行夹取,所述夹取组件(13)的一侧设置有推料组件(14),所述推料组件(14)对料盒中的引线框架进行推料;
在第二种上料模式下,所述Z向移动机构(12)上安装有吸取组件(15),所述Z向移动机构(12)带动所述吸取组件(15)沿Z向运动,所述柜体内设有安装有料篮底板(16),所述料篮底板(16)位于吸取组件(15)下方,所述料篮底板(16)的一侧固定连接有废料盒(17),另一侧固定连接有输送底板(18),所述料篮底板(16)、废料盒(17)和输送底板(18)与柜体可拆卸连接。
4.根据权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述点胶装置(01)包括:
点胶支架(1),所述点胶支架(1)安装在平台(40)上;
视觉组件(2),所述视觉组件(2)安装在点胶支架(1)的一侧,所述视觉组件(2)对引线框架上的工作位置进行识别;
两个点胶组件(3),两个所述点胶组件(3)设置在点胶支架(1)上,两个所述点胶组件(3)位于视觉组件(2)的两侧,所述视觉组件(2)对引线框架进行位置识别之后,所述点胶组件(3)对引线框架进行点胶,两个点胶组件(3)分别对不同的工作区域进行点胶,两个点胶组件(3)同时进行点胶。
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