[发明专利]一种差压传感器在审
| 申请号： | 202211640700.8 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116222873A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 徐承义;杨雪梅;刘素夫 | 申请（专利权）人： | 松诺盟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06;G01L1/22 |
| 代理公司： | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 | 代理人： | 刘波 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 种差 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种差压传感器，其特征在于，包括芯体，所述芯体设置有调理电路，所述芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组所述高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个所述高压应力孔和两个所述低压应力孔均镀有薄膜，所述薄膜具有敏感电桥。
2.根据权利要求1所述的差压传感器，其特征在于，所述芯体的形状包括圆形或多边形。
3.根据权利要求1所述的差压传感器，其特征在于，多组所述高低压应力集中孔组按圆周或矩阵排布。
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